808nm含铝半导体激光器的腔面镀膜.pdf

第 18 卷 　第 6 期 　 光学 精密工程 Vol . 18 　No . 6 20 10 年 6 月 　 　 　　 　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　 　　　 　　 J un . 20 10 ( ) 文章编号 　1004924X 20 10 808 nm 含铝半导体激光器的腔面镀膜 1 ,2 1 ,2 1 ,2 1 ,2 1 ,2 1 1 1 1 李再金 ,胡黎明 ,王 　烨 ,杨 　晔 ,彭航宇 ,张金龙 ,秦 　莉 ,刘 　云 ,王立军 ( 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理重点实验室 ,吉林 长春 130033 ; 2 . 中国科学院 研究生院 ,北京 100049) 摘要 :研究了高功率 808 nm 量子阱脊型波导结构含铝半导体激光器在空气中解理时不同镀膜方法对输出激光功率的影 响 ,讨论了半导体激光器的灾变性光学镜面损伤机理及其腔面钝化薄膜的选择特性 。对半导体激光器管芯前后腔面不 镀膜 ,前后腔面镀上反射膜和前后腔面先镀上钝化薄膜再镀腔面反射膜方法进行了对比 ,测试了半导体激光器的输出功 率 。结果表明 ,先镀上钝化薄膜的器件比只镀上腔面反射膜的器件输出的激光功率高 36 % 。只镀腔面反射膜的半导体 激光器器件在电流为 5 A 时就失效了 ,而镀钝化膜的器件在电流为 6 A 时仍未失效 ,说明镀钝化薄膜的器件能有效地防 止灾变性光学损伤和灾变性光学镜面损伤 。在半导体激光器芯片腔面镀上钝化薄膜是提高大功率半导体激光器输出功 率的有效方法 。 关 　键 　词 :808 nm 半导体激光器 ;镀膜 ;腔面 中图分类号 : TN248. 4 　　文献标识码 :A 　　doi :10 . 3788/ O P E. 20 10 1806 . 1258 Facet coating f or 808 nm Alcontaining semiconductor laser diodes L I Zaij in1 ,2 , HU Liming1 ,2 , WAN G Ye1 ,2 , YAN G Ye1 ,2 ,P EN G Hangyu1 ,2 , ZHAN G J inlong1 , Q IN Li1 ,L IU Yun1 , WAN G Lij un1 ( 1. Key L aboratory of E x ci te d S t ate P rocesses , Ch ang ch un I ns t i t ute of Op t ics , F i ne M ech anics an d P hy s ics , Ch i nes e A ca demy of S ciences , Ch ang ch un 130033 , Ch i n a; ) 2 . Gra d u ate Uni ve rs i ty of Chi nes e A ca demy of S ciences , B eij i ng 100049 , Chi na Abstract : The imp act s of diff erent f acet coating met ho ds o n t he la ser outp ut power s of highp ower 808 nm quant umwell ri