四_表面分析方法.pptVIP

* HNU-ZLP * SPM对样品表面各类微观起伏特别敏感，即具有优异的纵向分辨本领，其横向分辨率也优于透射电镜及场离子显微镜。 各种显微镜的主要性能指标如下表： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * HNU-ZLP * 显微镜 类 型 人眼 光学显微镜 SEM（二次电子） TEM FIM STM 分辨本领 0.2mm 0.2?m 横向：6nm 纵向：较低 横向：点3～5 ?，线1～2 ? 纵向：很差 横向：2 ? 横向：1 ? 纵向：0.1 ? 工作条件 高真空 高真空 超高真空 空气、溶液、真空 工作温度 低温、室温、高温 低温、室温、高温 30~80K 低温、室温、高温 样品损伤 轻微损伤 中等程度损伤 严重损伤 无损伤 分析深度 1?m 1000 ? (样品厚度） 1个原子层 1~2个原子层 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * HNU-ZLP * 二、扫描隧道显微