射线八.pptVIP

材料现代研究方法 张 峻 巍 第八章：电子显微技术的新进展 分析电子显微术 当电子束作用于样品时，会产生一系列反应样品形貌、结构及成分特征的物理信息。但是，普通透射电镜只利用了其中一种信息，既透射电子信息的一部分，而实际的研究课题往往要求利用多种信息进行综合分析。其次，由于入射电子样品原子的非弹性散射作用将导致能量损失，这些不同能量的电子通过物镜后产生色差，使图象质量下降。为减少这种影响，必须对样品厚度进行加以限制。 分析电子显微术 由于上述问题急待解决，以及仪器制造技术的进展，到60年代末，出现了综合扫描电镜和普通透射电镜于一体的新型分析仪器——扫描透射电子显微镜。70年代中期以来，随着X射线能谱分析及电子能量谱仪发展和逐渐完善，并装备到扫描透射电镜上，促成了一门新兴的分析技术——分析电子显微术的形成和发展。 (1)扫描透射电镜（STEM）的发展 扫描透射电镜从结构和光路上与扫描电镜有许多相似之处。两者差别在于扫描透射电镜使用的是薄膜样品，并且在样品下方设置有成像荧光屏或透射电子检测器。 (1)扫描透射电镜（STEM）的发展 试验表明，就同一样品来说，扫描透射电镜和透射电镜两种成像方式将得到相似的衬度效应，这是因为，两者图象的衬度都取决于样品的厚度、成分（原子序数）、晶体位向及结构差别。因此，在普通透射显微学中讨论的像衬度原理，如质厚衬度等，衍射衬度等，原则