稀土掺杂SiCxNy薄膜制备及其性质研究.pdf

鼍州大学M}一学位论爻 摘 要 SiCN是一种新颖的硅基光电材料，而稀土掺杂是一种进一步优化SiCN光学性 能的有益尝试，我们制备并研究了稀土掺杂与未掺杂SiCN薄膜。 (1)SiCxNy薄膜的制备和性质研究 利用射频溅射法在Si衬底上制备了SiCxN。薄膜，并利用X．射线衍射(XRD)、 红外吸收谱(FTIR)和X．射线光电子谱(xPS)对薄膜的结构、成份及化学键合状 态进行了分析。结果表明，室温制备的SiCN薄膜为非晶状态，并形成了Si．C、Si-N 和C-N键；通过改变N2／Ar比，衬底沉积温度，溅射功率等参数可以改变薄膜中的 Si’C，N三元素的比例。进而改变薄膜的光学等性质。而在高温下(衬底温度为8000C)， 薄膜中含有SiC,,N。的晶体成分，薄膜表面变得粗糙，SiCxNy薄膜具有较好的光致发 光性能。 (2)SiCN薄膜基电致发光器件的制备和性质研究 电极形成三明治结构，研究了各种N2分压下器件的电学和发光性质研究表明随着N2 分量的增加，器件由双向导电变为单向导电进而最后变为绝缘态，而EL现象由双向 导通发光变为单向导通发光，最后变为不发光，建立模型解释了这种现象。发现SiCxNy 由于其复杂的网络结构，具有很宽的发光包，发光光谱涵盖400--700nm范围。 ．(3)稀土掺杂SiCN薄膜的制备和后处理及发光性质研究 分别在N2和NH3气氛下共溅射法制备了样品，发现稀土Tb掺杂样品具有很好 的绿光效应。研究了不同温度和气氛环境下退火处理的样品，发现800。C下NH3处 理的样品具有最强的肉眼可见的强绿光发射，空气中7000C以下退火的样品呈现强蓝 机制和发光的能量传递机理。 关键词：SiCxNy溅射光致发光退火电致发光 兰州一：学．|lf}_{：’’厶伊论文 ABSTRACT SiCNisanovelsiliconbased earth and material，Rare photoelectric dopedundoped SiCNfilmswere and preparedinvestigated． were on rf films Sisubstrates the structures， (1)SiCxNy prepared by sputtering，and were chemicalbonds XPS．Theresults compositions，and investigatedbyXRD，FTIR，and havedemonstratedthatthe SiCNfilmswere room-temperaturedeposited amorphous， anetworkof C-Nbonds．Theratioofconstituentsofthethree containing Si-C，Si-N，and thefilmscanbetunedthe ratios N、)in ofN2f心，the elements(Si，C，and by partialpressure