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1 基于MEMS技术的可变形反射镜 学 院：电子科学与工程学院 专 业：微电子学与固体电子学 姓 名：邓纪彪 学 号：1016020822 1 摘 要 可变形反射镜是用于自适应光学系统中波前的重要元件，它能产生可控的波面校正量对波面相位加以校正。但随着自适应光学技术的发展，传统变形反射镜已经不能满足微型化、集成化的发展需求，而基于微机电加工技术的新型反射镜的出现解决了传统变形反射镜存在的问题。本文简单介绍了微变形反射镜的工作原理，国内外微变形反射镜技术的发展情况及其在自适应光学中的应用，最后阐述了微变形反射镜器件技术展望。 关键字：自适应光学；微变形反射镜；波前校正； 1 目 录 TOC \o 1-3 \h \u  HYPERLINK \l _Toc22935 一、概述  PAGEREF _Toc22935 1  HYPERLINK \l _Toc11273 二、自适应光学系统结构图  PAGEREF _Toc11273 2  HYPERLINK \l _Toc27006 三、微变形反射镜  PAGEREF _Toc27006