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材料表征分析技术
Material characterization techniques
屈树新
西南交通大学材料科学与工程学院
元素分析
测试样品
• 化学分析： 为液体
– 化学滴定、电化学……
– 紫外－可见分光光度计（UV-S ）、原子吸收
（AAS ）、等离子体发射光谱（ICP ）
• ESCA ：Electron Spectroscopy for Chemical Analysis
测试样品为
化学分析用电子能谱
固体
– EPMA: Electron Probe Microanalysis( 电子探针显微分析)
– XPS: X光电子能谱
– AES ：俄歇电子能谱
– SIMS: 二次级离子质谱分析
– ……
物质的结构分析
• 测定物质结构的本质
某种波，如微波、红外光、X射线；
或某种粒子,如光子、电子、中子等
试样
改变试样中原子 入射波（粒子）的
或分子的核或 散射、衍射或吸收
电子的某种能态 得到物质结构
的信息
试样中原子解离 产生与入射波长
或电子电离 不同的波或粒子
电子束与固体的相互作用
• 入射电子激发的物理信号
背散射电子（BSE）
二次电子（SEM）
吸收电子
透射电子（TEM）
特征x射线（EDS ，WDS）
俄歇电子 （AES）
阴极荧光（阴极荧光谱）
非弹性散射 （EELS）
光电子……
XPS ：概述
• XPS ：
– X-ray Photoelectron 硫代硫酸钠Na S O
Spectrum，X射线光电子能 2 2 3
谱法
• 历史：
– 1954世界上第一台XPS ：瑞
典K.Siegbahn教授； 硫酸钠Na SO
2 4
– 20世纪60年代发现化学价态
对结合能的影响,引起重视；
– 70年代：高真空技术与XPS XPS ：测量各元素+化合价态
相结合 表面（几个原子层/数纳米）
– 1981年K.Siegbahn教授获诺
贝尔物理学奖
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