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【2017年整理】F30简明操作手册
F30 操作手册
第一步:检查电镜状态,尤其是液氮,基本是隔4 小时需要填充一次液氮。
第二步:装样。Single holder 采用弹簧下压固定铜网,而double holder 采用
三角的压片扣压固定样品。非离子减薄样品装到样品杆上后,正、反、竖起轻拍
样品杆基座,以保证样品不会掉入电镜腔内
第三步:进样。
进样前,检查电镜状态,真空度: Gun 为 1 LOG ;Column 为 6 Log ,Camera
为48 Log 左右。Holder Position: X 、Y 、Z 、A 、B 应均为0,否则必须进行样品
台复位,Search-Control-Holder。分子泵:处于停止状态,即“Turbo On ”按钮为
灰色状态。
如果是Double-Tilt Holder ,
1 )首先将电缆连接电镜,而后软件中选择“Single-Tilt Holder ”或者
“Double-Tilt Holder ”,点击带有向左箭头的按钮,确认,此时会听到样品杆内
部来回移动的声音。
2 )将样品杆的定位销对准“Close ”指向Close 处的白线,水平插入样品杆,
直到极限位置(刚过凹槽处),轻推,此时分子泵自动启动,测角台红色指示灯
亮起,分子泵开始运作,样品室开始抽真空。打开DM 软件右下角“vacuum system
overview ”查看真空泵的工作状态和倒计时,大约6 分钟(两个三分钟倒计时)。
3 )红色指示灯熄灭,立即(不得超过半分钟)将样品杆逆时针旋转到头,
此时会感受到吸力,将样品杆轻轻送入,一定要控制好力度,缓慢进入。
4 )进样后,等待Column 的真空将为12 Log 以下,稳定后,点击屏幕左上
部分Column Valves 按钮( 由黄色变为灰色) ,打开电子束,同时“Turbo On ”按
钮变为灰色状态。
第五步:调节样品高度。利用明显区域聚焦,而后将 Defocus 数值+Z 值得
到的数字输入Search-Control-Holder 的Z 数据框中,而后点击“Go To ”按钮调
节样品高度。或者利用“Eucentric Height ”细调样品高度。
第六步:拍照。选择合适的放大倍数,拍照,存储数据。注意升起屏幕时(左
侧L2 升起或放下屏幕),一定要散开光斑。Stigmator-Multifunction X Y 调节物镜
像散。Live FFT 查看像散消除。
第七步: 实验完毕,将模式退回到普通TEM 模式,放大倍数置于35000X,
退出Objective lens 和selective lens,光束散开至满屏。
第八步: 关闭 Column Valves,使其由灰色(Open )变为黄色(Close )。
Search-Control-Holder 将样品复位。点击EM Client 退出登录账号。
第九步: 查看测角台红色指示灯状态是否为熄灭(未灭时,千万不能取出
样品杆)。轻拔样品杆到极限位置,顺时针转动 120 度至停止,双手扶样品杆轻
轻拔出镜筒,取下电缆,将样品杆小心放回支架上。
如果当天不再进行试验
1)FEG Control 界面,点击Operate 使其由黄变黑,使场发射灯丝取出电压
(Extract Voltage )将至3KV,灯丝处于欠饱和低温状态,以保护灯丝。
2 )将铅玻璃橡胶垫盖上屏幕,轻轻取下液氮罐,将剩余液氮倒入大液氮罐。
将泡沫盖接到铜辫下的支座上,以防铜辫升温后滴水。
3 )在Column 菜单中的Cryo 下点击Cryo Cycle,使其由灰色(OFF )变为
黄色(On ),分子泵启动,抽走由于液氮取走后样品室处镜筒内升温挥发出的气
体。一般需要3 小时以上,分子泵按照设定时间自行停止。
由于目前物理学院F30 底部CCD 的损坏,现在利用EFTEM 模式下后部的
CCD 拍照。
1)首先,找到样品区域,聚焦,散开光斑。
2 )EFTEM 模式,点击Auto Filter 菜单下的EFTEM 按钮,此时屏幕放大倍
数缩小为原来的19 倍后自动升起屏幕。
3 )按压左边L2 ,放下屏幕,将光斑移动到 11 点钟位置,在双孔目镜中观
察到黑色小块,并将样品移动至该
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