Film Thickness (Chinese) 1 201208 - 鼎晶科技ATG.PDF

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2017-06-13 发布于江苏
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薄膜厚度量測系統應用範圍：薄膜太陽能電池: aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe 光學鍍膜: ha rd ness coat ing, anti-reflection c oat ing, d ie lect ric filte rs FPD: Po ly a mides, Resist a nd Ce ll Ga ps LC D and L ED: ITO, Ga N Se mico nducto r and Die lect rics: Ox ides, Nit rides, O LED 系統特色：即時運算量測速度小於1秒量測膜厚範圍: 300-400,000 A ngst rom 反射率, 表面粗糙度量測使用簡單, 成本效益高最多可同時量測四層膜厚自動平台顯微鏡平台薄膜厚度自動繪圖薄膜厚度量測系統本膜厚量測系統特色在於即時快速量測。以下圖表為各種樣品量測的例子。紅色曲線代表實際的反射率量測光譜，而藍線則表示以光學參數(N, K, D值)計算出的模擬反射率光譜。兩條 Ref lecta nce 曲線間的符合值可證明光學參數值假定的量測精度。 I nteg rat ing S phe re X -Y Stage 圖 2-反射式積分球模式當樣品的表面是光亮的鏡面時，我們建議以反射式光纖量測(圖3)。而表面粗糙的樣品，以一般量測時，光線將被散射掉。這時建議最好使用反射式積分球量測。在反射式積分球量測模式下，樣品直接與積分