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先進製程控制(APC)
65
先進製程控制(A PC )
三聯科技 微電子製程設備事業處
前言 價格也漸趨合理 。因此感測器度量的資料已是
APC重要的資料來源之一 。
I C 製程趨向複雜化 ，加上奈米時代線寬微
細化的脆弱性 ，IC高良率達成的補助工具因應而
APC系統的基本功能規格 ：
生 。其中APC(Advance Process Control ，先進製
1.數位化資料收集─
程控制)即為主要的工具之一 。
各種類型數位化後的資料 ，由設備擷取 。
2.資料傳輸整合─
APC經由SECS/GEM/Interface A從各個設備
確保不同作業系統間資料傳輸的穩定 。
與自動化系統 ，來收集各種不同的資料 ，藉由
3.後端應用程式─
即時處理系統 ，做出立即危機警告或精確迴授控
FDC(Fault Detection Control)
制 ；更由長期資料的累積 ，不斷地用數學統計等
Trend Chart,SPC(Statistical ProcessControl)
工具配合專業經驗知識對大量的資料做出各種趨
APC(Advance Process Control)
勢分析 ，以供製程設備做適切的調整 。
以下就各種資料從收集開始到最後應用的
良率除非達百分之百 ，否則A P C 不會平順
過程中，所可能牽涉到的軟硬體相關資訊 ，作簡
滿意 。永遠都會有一些資料是製程工程師極欲知
明的略述 。最後再針對批次式化學站(Batch Type
道 ，而設備無法提供或未能及時提供 ，或解析能
Chemical Station) 目前可量測的資料 ，檢討各種
力不足 ，或體積價格等不適當 。
資料對製程或良率影響的可能性 。
隨著科技進步 ，新感測計被研發而誕生 ，已
不是新鮮事 。已有感測器的解析度在不斷加強 ，
Data Collection Application
資料收集應用
10 先進製程控制(APC)
65
Tool Data Collection Capability Data Collection Interface
設備所能提供的資料收集能力
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