第1章集成电路的基本制造工艺.pdf

绪 论 集成电路设计基础 集成电路(Integrated Circuit)是指通过一系列 集成电路设计基础 特定的制造工艺，将多个晶体管、二极管等有源器 件和电阻、电容等无源元件，按照一定的电路连接 西安交通大学微电子学系 集成在一块半导体晶片上，作为一个不可分割的整 西安交通大学微电子学系 体执行某一特定功能的电路组件。 1952年，英国皇家研究所的达默在美国工程师 协会举办的座谈会上发表的论文中第一次提出了集 第 1 章 成电路的设想。“可以想象，随着晶