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2oo8~第4期 显 示 器 件 技 术 浅析 LCD制造工艺中使用的清洗技术 彩虹股份 张兵 摘要：在液晶显示器的生产过程中要多次涉及到清洗工艺，如所使用的玻璃基板在受入前必须清洗 干净，在溅镀 ITO导电膜之前还需要清洗干净，由于制备工艺要求达到 1m，所以除了玻璃基板、镀膜玻 璃必须清洗之外，在涂敷光刻胶等之前都要对玻璃基板进行清洗，将 1m以上的颗粒以及所有的无机、 有机污染物清洗干净，保证工艺达到所需要的精度要求。本文就目前的主流清洗方法进行系统阐述，从 原理上为清洗工艺提供理论知识。 关键词：玻璃基板 超声波 接触角 纯水 清洗剂 璃基板上留有较低的离子残留。为了取得 良好的 玻璃基板上的污染物，主要来 自制造工艺过 清洗效果通常在用DI水清洗时配合使用一些物 程．以及玻璃基板的搬运、包装、运输、储存过程。 理清洗手段。使用的物理清洗方法有下列几种。 主要的污染物有尘埃粒子、纤维纸屑、矿物油和油 1．1刷洗 脂等油垢、氧化硅等无机颗粒、制备加工过程的残 刷洗是利用刷子与玻璃基板之间的摩擦作 留物、水迹、手指印等。清除玻璃基板的目的，一方 用来去除污垢的。用刷洗的方法很容易把玻璃基 面是要去除污染物避免对性能造成不 良的影响． 板上难以去除的污垢顽渍去除，对于在玻璃基板 另一方面也可以起到改善玻璃基板表面性能。增 上吸附得很紧的粒径在5p．m以上的无机物颗粒 加其与加工过程中使用的各种材料之间的亲和 力。使涂在玻璃基板上的各种加工材料与玻璃基 板有良好的接合性从而保证工艺的制作精度，有 高密度Brush 利于加工过程的顺利完成。 由于玻璃基板的尺寸朝越来越大的方向发 展，为了清洗和运送的方便，清洗玻璃通常采用水 平方向排列的传送带式流水线在线清洗方式。根 据清洗方式可分为湿法清洗和干法清洗两大类。 其中湿法工艺清洗效果好使用较普遍，而干法清 洗只在一些特殊场合使用，或作为湿法清洗工艺 的补充。使用湿法清洗时工艺过程中包括清洗、漂 洗、干燥三个具体工序。 1、湿法清洗工艺 一 在清洗工序中，必要时可使用去除玻璃上污 向。二．融■‘ 垢效果好的水基清洗剂，它一般是含有碱性、表面 活性剂、清洗剂等组成的，但在玻璃基板上的油性 污垢不多。主要是微小固体颗粒污垢时通常用高 也有很好的去除效果。 纯度的去离子水(DI水)做清洗剂，因为这样既可 以保证清洗质量，又可以保证在完成清洗后在玻 一 铀9 挑9 98鼢 砩8 88辛s87昌暑7 7 12一 浅析LCD制造工艺中使用的清洗技术 2008年第4期 颗粒玉除率一约液温度 94％ 94％ 簪 93％ 篮