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TFT设计流程 Silvaco 提供用于TFT技术各个方面的完整及优秀集成的仿真软件。我们的TFT专门软件包括技术 仿真，SPICE模型提取，互连寄生分析，SPICE 电路仿真和传统的CAD 。TCAD驱动的CAD方法 为器件工程师和电路设计师提供了最精确的模型。 ATHENA ATLAS CELEBRITY SmartSpice UTMOST 晶片厂或实验室 测量数据 SmartSpice/Verilog-A CLEVER SILVACO工艺和器件仿真 ATHENA/ATLAS用于技术仿真 TFT是一个高级的器件仿真器，装备有物理模型和专门的 数字技术，用来仿真非晶体和多晶硅器件。 精密复杂的算法允许器件工程师仿真一般的TFT器件直到下 一代高性能器件。典型的应用包括： • 用于大面积平板显示的有源矩阵液晶显示器(AMLCD) • 非平面或多闸极TFT器件的电学特性表征 • 静态随机存储器(SRAM)单元 • 多晶硅单晶沟道的TFT • 评估多个晶界效应或单个晶界效应 • 评估载流子运输的感应参数 用于TFT工艺仿真的软件包包括: •SSuprem4 仿真几何淀积和蚀刻，注入和扩散 •MC Implant 仿真TFT离子注入种类如PH+, PH+2 •DevEdit 允许用户绘制简单TFT结构的几何图，以及添 加分析的掺杂分布图 上图和左下图是典型的后栅非晶体硅TFT，同平 面多晶硅TFT，双栅TFT和包括LDD区的高性能 TFT。 ATLAS/TFT 里的TFT专门器件仿真器包括如下 特征： • 平面和非平面器件建模实现集中点在缺陷和缺 陷态的高级模型 • 迁移率模型 • Trap assisted和band-to-band隧道模型 • Poole-Frenkel效应模型可以低电场仿真phonon assisted隧道效应 • 碰撞电离 • 能够将TFT合并到MixedMode 的电路环境之中 • TFT3D 中的3D仿真 • 能够将TFT合并到Giga的自热效应中 SILVACO工艺和器件仿真 ATLAS/TFT模块 在ATLAS 中，运用ANSI C解释器可容易地实 现位于材料能带隙间的自行开发的态密度。下 面显示的是态密度(DOS)的特有公式和它们相 应的图示图像。 AMLCD 中使用的TFT仿真以绿色标出，下面是红色