太阳能级硅片生产工艺中悬浮液粘度研究论文.pdfVIP

·50· 中国太阳能光伏进展 太阳能级硅片生产工艺中悬浮液粘度研究 李彦林1 羊建坤1任丙彦1王会贤2 范玉红2张立科2王文江2 ’1河北工业大学材料学院天津300130 2河北晶龙集团河北宁晋055550． 【摘要】．，硅片线切割工艺中悬浮液特性与切割质量有重要关系，本文对悬浮液特性进行 了理论与实验分析，测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线，为硅片的线切割工 艺优化提供了理论和实验依据。 【关键词】 悬浮液粘度温度 The ResearchOf InManufacture Viscosity SuspendingLiquid ofTheSolarGrade、^hfers ；LiYanlinl JiankunlRen Yang Bingyanl Huixian2Fan Like2 ’Wang Yuhon92ZhangWangWenjian92 Science 1DepartmentofMaterial 300130，China 2HeBeiJINGLONG Corporadon，HeBeiNingJjin‘055550 0引言 多线切割机(Multi—WireSaw)简称线锯，以极高的生产效率和出片率，广泛应用在超 薄大直径太阳能硅片加工领域。在太阳电池的成本中硅片几乎占了60％的成本。所以利用线 切割设备的先进工艺和技术特性来降低硅片成本，节约原材料，提高生产效率，已成为该领 域目前关注的焦点。 ’ 切割过程是造成硅片表观缺陷。应力、破损和机械损伤的最主要工序【1】，对于太阳电池 性能有着很大的影响。因此研究线切割的工艺机理，研制新型悬浮液，对光伏行业的发展进 步有着重要的指导意义。 1悬浮液特性 1．1 悬浮液 性能优良的悬浮液兼有切削、黏滞、冷却三大功能，在悬浮液中加入的研磨砂主要成分 为SiC，加入研磨砂后的悬浮液又称砂浆。常用悬浮液为无色透明液体，具有黏滞性，能携 晶体硅太阳龟池及材料．51． 带SiC颗粒随线网一起运动。悬浮液能够有效降低硅片表面损伤应力，减小硅片的切割损伤 层，提高切削速度。 1．2悬浮液的粘温特性 由于超薄线切对硅片总厚度误差(TTV)的严格要求，对工件室的机械系统精度要求甚 严，故线切割过程中的温度控制至关重要。线锯切割时间一般为几个小时，长时间的温升积 累会使机床变形，直接影响切片的质量，尤其是硅片的弯曲度、翘曲度等关键质量指标。‘多 ： r ’． ． 线切割机都配有温控冷却系统。 。’ 硅锭进行线切割时，砂浆嘴将砂浆喷在线网上，导轮转动线网将砂浆带进晶棒里。悬浮 液温度越高时，其分子热运动加快，分子间引力减小，粘度随之变小，SiC颗粒在钢线上的 附着能力就越差，在切割前沿造成SiC堆积，切割时线锯的切削能力下降，影响硅片的质量。 常常出现这种情况，7冬季的切割硅片质量比夏季好，主要原因就是悬浮液的粘度受到了环境 ’ 温度的影响。图1