太阳能级硅片线切割工艺中砂浆与硅片损伤层研究论文.pdfVIP

·46· 中国太阳能光伏进展 太阳能级硅片线切割工艺中砂浆与 一 ，硅片损伤层研究 李彦林1 羊建坤1任丙彦1刘彬国2魏双彬2黄余强2 1河北工业大学材料学院天津300130 2河北晶龙集团河北宁晋055550 【摘要】 线切割中砂浆对硅片表面质量有重要影响，本文对砂浆进行了分析，‘测量了研 磨砂粒度；通过扫描电子显微镜(sEM)观测了硅片的表面损伤层，对损伤层 形成机理进行了讨论，’为超薄太阳能级硅片的线切割工艺优化提供了理论和实 验依据。 【关键词】 砂浆砂浆回收损伤层 ‘ TheResearchOf And InMulti—Wire-SawOf SlurryDamage SolarGrade、^hfers LiYanlinl JiankunlRen Liu Wei Yang BingyanlBingu02Shuangbin2HuangYuqian92 1 ofMaterialScienceand Department Engineering，HebeiUniversityofTechnology，Tianjin300130，China 2HeBeiJINGLONG Corporation，HeBeiNingJjin，055550 0引言 Wire 多线切割机(MultiSaw)，以极高的生产效率和出片率，广泛应用在超薄大直径太 阳能硅片加工领域。在太阳电池的成本中硅片几乎占了60％的成本。所以利用线切割设备的 先进工艺和技术特性来降低硅片成本，节约原材料，提高生产效率，7正成为该领域目前关注 的热点和难点课题。 1’砂浆回收 1．1 降低成本 性能优良的悬浮液兼有切削、黏滞，冷却三大功能，在悬浮液中加入的研磨砂主要成分 为SiC，加入研磨砂后的悬浮液又称砂浆。砂浆在线切生产的耗材成本中超过60％，主要原 晶体硅太阳电池及材料．47． 因是在切割过程中，大量硅粉混进砂浆里，附着并包围在研磨砂上，使砂浆中的SiC在切割 前沿材料表面上打滑，切削能力减弱；为了消除硅粉，每次切割后需要更换大量砂浆，而一 次切割后的砂浆废液里90％以上的SiC仍未充分利用。 为了解决砂浆浪费问题，降低切割成本，．。砂浆回收系统’可以去除附着在SiC上的细 小切削粉末，以及钢线切削力粉碎的SiC微粒，并将有用的研磨砂从旧砂浆中筛选出来。在 净化后的砂浆中添入适量的新研磨砂和悬浮液，以保持良好的研磨性能，便可以进行再次切 割。这样处理后的砂浆回收率高达90％，切割成本可相应下降50％…。 (a)旧砂浆里被污染的研磨砂 (b)处理后的干净研磨砂n】 图 1 1．2砂浆科学配比 ‘ 砂浆的科学配比，与硅片质量有重要关系。如在悬浮液中掺入的研磨砂太多，容易在切 割前沿形成SiC颗粒堆积，伴随切割系统的强制进给，SiC堆积产生的阻力导致线弓张力增 大，钢线由于弹性形变在切割进出口的线径变化很大，故切割后的硅片厚度并不均匀，即硅 片的总厚度误差(TTV)不合格。随着钢线张力不断增大，一旦发生断线，会导致整根单晶 硅棒报废，损失很大。SiC颗粒堆积，’还容易造成硅片表面损伤。在悬浮液中加入的研磨砂 太少，则在切割过程中，会因切削力不足，影响切割速度。 j j 1．3 SjC颗粒的粒径 研磨砂99％以上的成分为SiC，切割时SiC颗粒附着在线