硅微陀螺正交校正结构设计与试验-东南大学学报.PDFVIP

第４３卷第６期 东南大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ．４３ Ｎｏ．６ 　 ２０１３年１１月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｎｏｖ．２０１３ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１－０５０５．２０１３．０６．０１８ 硅微陀螺正交校正结构设计与试验 倪云舫　 李宏生　 黄丽斌　 赵立业 （东南大学仪器科学与工程学院，南京２１００９６） （东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，南京２１００９６） 摘要：为从源头上消除硅微陀螺的正交误差，采用静电修调方法，研究正交校正结构设计问题． 在分析静电修调原理的基础上，探讨校正电极设计原则以及结构形式的选取，设计布局方案消除 干扰静电力，并通过参数优化提高校正结构的面积利用效率．为自主研制的某型双质量硅微陀螺 设计正交校正结构，使其理论上具备以１２Ｖ直流电压校正４０５（°）／ｓ正交误差的能力．加工试 验表明，对具有３５４（°）／ｓ正交误差的表头，施加１１．６Ｖ直流电压可实现正交校正，结构的正交 校正能力略小于但接近设计值．研究的正交校正结构设计方法在线振动式Ｚ轴硅微陀螺中具备 通用性和实用价值． 关键词：硅微陀螺；正交校正；静电修调；直流电压；结构设计 中图分类号：ＴＨ８２４．３　　文献标志码：Ａ　　文章编号：１００１－０５０５（２０１３）０６１２２７０５ Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｔｅｓｔｏｆｑｕａｄｒａｔｕｒｅｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｏｒｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｇｙｒｏｓｃｏｐｅ ＮｉＹｕｎｆａｎｇ　 ＬｉＨｏｎｇｓｈｅｎｇ　 ＨｕａｎｇＬｉｂｉｎ　 ＺｈａｏＬｉｙｅ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ） （ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｉｃｒｏＩｎｅｒｔｉａｌＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｎｄＡｄｖａｎｃｅｄＮａｖｉｇａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ， ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｅｑｕａｄｒａｔｕｒｅｅｒｒｏｒｏｆｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｇｙｒｏｓｃｏｐｅａｔｔｈｅｓｏｕｒｃｅ，ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｔｒｉｍ ｍｉｎｇｉｓｅｍｐｌｏｙｅｄａｎｄｄｅｓｉｇｎｉｓｓｕｅｓａｂｏｕｔｑｕａｄｒａｔｕｒｅｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｒｅｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｂａｓｅｄｏｎ ｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｔｒｉｍｍｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅ，ｄｅｓｉｇｎｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓａｎｄｐａｔｔｅｒｎｓｅｌｅｃｔｉｏｎｏｆｔｈｅ ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ａｌａｙｏｕｔｓｃｈｅｍｅｗａｓｄｅｓｉｇｎｅｄｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｅｉｎｔｅｒｆｅｒｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔ ｉｃｆｏｒｃｅｓａｎｄｐａｒａｍｅｔｅｒｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｗａｓｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅａｒｅａｕｔｉｌｉｚａｔｉｏｎｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ．Ｆｏｒａ ｄｕａｌｍａｓｓｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｇｙｒｏｓｃｏｐｅｄｅｖｅｌｏｐｅｄｂｙｏｕｒｌａｂｏｒａｔｏｒｙ，ｑｕａｄｒａｔｕｒｅｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅｗａｓ ｄｅｓｉｇｎｅｄｗｉｔｈａｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｃａｐａｂｉｌｉｔｙｏｆｃｏｒｒｅｃｔｉｎｇｑｕａｄｒａｔｕｒｅｅｒｒｏｒｕｐｔｏ４０５（°）／ｓｗｉｔｈＤＣ（ｄｉｒｅｃｔ ｃｕｒｒｅｎｔ）ｖｏｌｔａｇｅｌｅｓｓｔｈａｎ１２Ｖ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｏｎａｐｒｏｃ