3.4 应变式电阻式传感器定.pptVIP

3.4 应变式电阻式传感器 应变式电阻传感器原理：利用导体和半导体材料的应变效应，把非电量的压力和位移等参数转换为电阻变化的传感器 应变式电阻传感器是测量微小机械变化量的理想传感器。 广泛用于人体生理参数测量：呼吸的位移和力、血压、体重，浓度、速度等。 基本原理是根据物理学导体的电阻方程: 为电阻率（?·cm）， L 为导体长度（cm）， A 为导体均匀截面积（cm2）。 改变参数中任何一个，把被测参数转化为电阻变化 ，通过测量电阻值的变化，就能反映出被测各参数的变化。 电阻式传感器按材料不同分为两大类: 金属电阻应变式传感器 用金属丝或金属箔作敏感元件制成的片状传感器。 半导体压阻传感器 在半导体膜片上扩散成电阻的方法制成 3.4.1 金属电阻应变式传感器 金属电阻应变式传感器:也称为应变片,是用金属丝或金属箔做敏感元件制成的传感器。 金属应变片贴在弹性元件或被测物体上,弹性元件变形时, 粘贴其上的应变片电阻发生相应变化。 其机理是电阻应变片的电阻应变效应。 金属应变片式传感器 一、金属应变效应 几个概念 （一）应力 在一受力物体截面上一点A取一微小面积△A，若此时受力为△ F，则△ F与△ A的比值则为面积△ A上的平均应力，当△ A→0时就为A点的应力。 其中σ为垂直截面的应力分量 τ为与截面相切的应力分量 单位：牛顿/米2（或帕斯卡） （二）应变 物体在外力作用下，其几何形状将发生变化。围绕物体中任一点取一微小正六面体，其边长分别为△ x 、△ y、△ z。物体外力作用变形后，其边长和棱边夹角都将发生变化，变形前为△ x的棱边变形后边长为△ x+ △ l，其相对形变为：εa= △ l/ △ x 其中，εa为单位长度的平均伸长和缩短，称为平均应变。当 x→0时极限： (三)电阻应变效应 拉伸金属导体产生应变,在拉伸比例极限内,金属导体电阻相对变化与轴向应变成正比,即 R：无应变电阻值; dR：产生应变时电阻变化量; ε:轴向应变(ε=dL/L); k0:金属材料的灵敏系数 公式的推导 一段金属电阻丝,其截面积为A,电阻率为ρ,长度为L,则其电阻为: 上式取自然对数: lnR = lnρ+ lnL- lnA 取全微分: 电阻值的相对变化率 取决于三个基本因素: 电阻丝的电阻率相对变化量(dρ/ρ)。 电阻丝长度的相对变化量(dL/L)。 电阻丝截面积的相对变化量(dA/A)。 2．灵敏系数（线材） 设纵向变化的相对变化量叫纵向应变? ? = dL/L 横向变化的相对变化量叫横向应变?1 ?1 = dr/r（r为半径） ?弹性材料横向应变与纵向应变之比为一个常数?，?称为泊松比,故有： ? = - ?1/? 如果受拉，则L变长，截面积A（A=πr2）变小: 得金属材料灵敏系数k0 电阻率变化是因材料发生变化时，其自由电子活动能力和数量均发生变化的缘故，也是因体积变化而造成的，即有: 即: 得: 一般金属材料电阻丝在一定变形范围内： μ约0.3－0.5 k0第一项约为1.6-2.0，第二项近似为0。 灵敏系数k0为常数2 第一项是应变引起,第二项因电阻率而引起，可以忽略。 电阻变化反映应力的变化。 常用的金属电阻丝材料的性能 3．金属电阻应变片的结构种类 应变式传感器，是利用金属应变片（应变式变换元件）内部应力与电阻之间的关系来进行测量的。 它主要用于测量力、应力和压力等。 分为压应力式和张应力式两种 在工作中，把应变片贴在产生应力变形的被测表面，以实现对其应力和变形的测量。测量力、扭矩、压力、加速度等物理量。 电子秤，采用高性能低功耗处理器和高精度电阻应变片式传感器 4. 应变片的特性指标 灵敏系数k是指在一维应力作用下,粘贴在试件表面应变片单位电阻变化率与试件上应变片沿灵敏轴线产生单位变形之比,数学式为: 应变极限是指一定温度下（室温或极限使用温度），应变片的指示值和真实应变的相对误差值不超过一定数值时的最大应变数值。 一般指示应变值大于真实应变的10％时，真实应变值称为应变片的极限应变。 应变片的应变极限主要是由特性曲线的非线性来决定的，超过应变极限不再符合线性 （3）最高工作频率 在动态测量时,应变是以应变波的形式在材料中传播的,它的传播速度与声波相同(对钢材V=500Om/s),因此应变片要反映应变的变化是要一定时间的。应变片的最高工