微机电系统技术MEMSDataSheet-AmkorTechnology.PDF

技术解决方案 微机电系统技术 微机电系统(MEMS) 是一种可以制造感测或驱动周遭的物理世界的微米大小组件的技 术微机电系统(MEMS) 使用微加工技术来制作组件, 其工艺技术相似于集成电路的制 作. 这个技术可以在近似于一般集成电路的有限空间中实现二维或三维的机械系统制 作. 由于其工艺和集成电路的工艺相似, 微机电系统( MEMS)大多数是在硅晶圆片上制造.但 也可以在其他的基板上制作. 因为小体积的优势, 在一片硅晶圆片上可以产出成千上万 的组件. 微机电系统(MEMS)的应用 安靠科技股份有限公司(Amkor Technology)是世界上微机电系统(MEMS)封装技术的领 资料来源: 先者, 也是最大的微机电系统(MEMS)和微光学机电系统(MEOMS)的外包服务商. Sandia National Laboratories 微机电系统/传感器 消费性产品 汽车 医疗保健 家居/ 工业 加速度计     陀螺仪     磁力计   湿度计    麦克风     压力计    温度计     红外线     生物传感器  化学/气体传感器   微机电系统(MEMS)封装的考虑因素 安靠科技股份有限公司(Amkor Technology)是世界上微机电系统(MEMS)封装技术的领先者, 也是最大的微机电系 统(MEMS)和微光学机电系统(MOEMS)的外包服务商 一般需求 汽车市场 消费性市场 ■ 能控制封装对微机电系统 ■ 更严格的封装规格 ■ 较短的开发时程 (MEMS)结构的压力 ■ 客制化需求 ■ 高度通用性的封装规格 ■ 允许待测物质或能量能被微机 ■ 微小化的趋势 电系统(MEMS)结构感测 ■ 能有效保护微机电系统(MEMS) 和集成电路(ASIC) 请至安靠网站查询安靠业务和生产工 厂地址，以及最新的产品信息 TS103HC