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用于多频振动MEMS复合式能量采集器的设计
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第 l7卷 第 6期 光学 精密工程 Vo1.17 NO.6
2009年 6月 OpticsandPrecisionEngineering Jun.2009
文章编号 1004—924X(2009)06—1367—06
用于多频振动的MEMS复合式能量采集器的设计
任 婧,陈旭远
(厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建 厦门
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