2-吉时利4200-SCS型半导体参数分析仪-苏州大学纳米材料与技术实验.docVIP

苏州大学申购大型精密仪器设备 可行性论证报告 (10万元～40万元) 仪器名称 吉时利4200-SCS型半导体特性分析系统 申请单位 功能纳米与软物质（材料）实验室 负 责 人 李述汤 填表时间 2009 年 11 月 23 日 一、申购仪器设备概况 仪器设备 名 称 中文 吉时利4200-SCS型半导体参数分析仪 外文 Keithley 4200-SCS Semiconductor Characterization System 型 号 厂 商 参考单价（万元） 数 量 总 价（万元） 4200-SCS Keithley 24 1 24 主要技术指标（含仪器设备的详细配置） 一、系统配置清单： 1、半导体参数分析仪（4200-SCS/F）主机（1台） （1）含两个高分辨率中功率SMU（源测量单元） （2）内置12英寸液晶显示器 （3）主机含以太网（LAN）,GPIB, 3个USB接口，RS-232接口，并行接口，250G大容量硬盘，可刻录DVD光驱 （4）含全套测试软件 2、半导体参数分析仪电流前置放大单元（4200-PA）（2个） 适用于4200-SMU，可扩展SMU的最小电流测量分辨率达0.1 fA。 3、三同轴电缆转接两同轴电缆接头（237-BNC-TRX）（3个） 二、主要技术指标 1、具有0.1fA的电流检测灵敏度，能提供精确的I-V测试; 2、最大电压源：200 V; 3、电压源设定最小分辨率：5 (V; 4、最大电流源：100 mA 5、电流源设定最小分辨率：1.5 fA; 6、电流测量范围: 0.1 fA – 100 mA; 7、电流测量最小分辨：0.1 fA 8、测量单元的A/D情况：分辨率为22位，每个测量单元都有A/D转换器； 9、系统扩展性：（1）电流前置放大器的扩展能力；（2）脉冲I-V的扩展能力； 10、提供纳米技术工具包； 11、软件终身免费升级。 经费来源 专项经费 用 途 教学 □ 科研 ■ 其它 □ 安装（放）地点 功能纳米与软物质（材料）实验室 管理人 唐建新 注：“经费来源”指教学设备经费、示范中心建设经费、中央与地方共建经费、重点学科建设经费、科研项目经费、211工程建设费、专项经费等。 二、安装使用的环境及设施条件 请说明是否具备安装条件或拟改造要求 实验室已完成实验楼及仪器安置房间的装修，所需的电、水、空调、照明等环境要求已具备。同时，实验室正准备改建300平方米的超净室，并在超净室内预留了该设备的安装空间和相关辅助要求。拟在超净室完成建设后，把设备搬入超净室内进行使用。 三、购置及选型理由 1、购置目的（（请说明购置仪器的必要性、效益预测等） 功能纳米与软物质（材料）实验室已被省科技厅批准为“江苏省碳基功能材料与器件重点实验室”。按照重点实验室建设规划，实验室将重点研发高效率、长寿命有机光电器件，特别是致力于有机发光显示(OLED)和有机薄膜晶体管（OTFT）的前沿性基础和应用研发，近期主要面向单色显示、小尺寸的全彩PM-OLED显示原型机，白光固体照明及软屏点阵技术的攻关。 因此，为有效开展上述科研工作，半导体特性分析系统是实现相关测量的重要设备，是对目前在研项目顺利开展的的有力支撑，是相关科研工作的必不可缺的一环。该设备的采购将有助于推动现有科研工作的开展，并为今后的发展奠定了硬件基础。与此同时, 该设备可配合表面和界面分析研究室（XPS/UPS系统）对半导体器件的界面进行互补性研究。例如研究器件界面退化、载流子的注入和传输特性等。 2、选型理由（含兄弟院校、科研院所的使用情况） 4200-SCS型半导体特性分析系统主要用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率，适用于半导体器件、微电子器件、光电器件、纳米器件等测量。它提供了最先进的系统集成能力，为这些器件和测试结构的直流参数和脉冲测试分析提供了一套完整的方案。它包括完整的嵌入式PC机，WindowsNT操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。 4200-SCS型在中国装机数180台左右，苏州纳米所有一台，而且目前功能纳米与软物质（材料）实验室也已购置4200-SCS型的升级版（4200-CVU型），其中加装了电容-电压特性测试的插入性模块。4200-SCS型在国内高校和科研院所得到广泛使用，因其强大功能和操作的简易性，获得了良好的口碑。 我校现有的4200-CVU型已配备在实验室购置的低温探针台，用于纳米结构器件的电学特性测量，并取得了很好的测量效果。在充分论证了实验室今后发展的需要，420