第01章 形态学检验技术hu-课件.pptVIP

投射电镜制样技术 STM是利用直径为原子尺度的尖锐探针扫描样品表面，并测定流过探针的隧道电流得到超高分辨的三维图像。 成像过程中探针与样品表面之间的距离小于1nm，电子云互相重叠，在这两物体间施加2mv~2v的电压，电子就可因量子隧道效应有针尖（或样品）转移到样品（或针尖），从而在针尖和样品间形成隧道电流。 STM横向分辨率为0.1~0.2nm，深度分辨能力为0.001nm，放大倍数可以达到数千万倍。 克服了电子显微镜中高能电子束对样品的辐射损伤以及样品必须处于高真空中的限制。 STM可以在超高真空、高真空，也可以在大气下甚至液体中无损伤的直接观察样品表面结构。 * 样品上需要照明的区域大小与放大倍数有关。放大倍数愈高，照明区域愈小，相应地要求以更细的电子束照明样品。由电子枪直接发射出的电子束的束斑尺寸较大，相干性也较差。为了更有效地利用这些电子，获得亮度高、相干性好的照明电子束以满足透射电镜在不同放大倍数下的需要，由电子枪子枪发射出来的电子束还需要进一步会聚，提供束斑尺寸不同、近似平行的照明束。这个任务通常由两个被叫做聚光镜的电磁透镜完成。图1-5中C1和C2分别表示第一聚光镜和第二聚光镜。C1通常保持不变，其作用是将电子枪的交叉点成一缩小的像，使其尺寸缩小一个数量级以上。此外，在照明系统中还安装有束倾斜装置，可以很方便地使电子束在2°～3°的范围内倾斜，以便以某些特定的倾斜角度