MEOMS封装的锗窗金属化结构界面特性研究 - 激光与红外.PDF

第４６卷　 第４期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４６，Ｎｏ．４ 　 ２０１６年４月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１６ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１６）０４０４５２０４ ·红外材料与器件 · ＭＥＯＭＳ封装的锗窗金属化结构界面特性研究 王新宇，史梦然 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：基于微光机电系统对真空封装的要求，采用磁控溅射法在锗窗口上制备不同膜系的金 属化结构，研究在相同的热处理条件下，不同膜系结构对锗窗口界面特性的影响。采用俄歇电 子能谱分析原子在膜层间和膜基间的扩散行为。采用划痕测试仪分析膜基间的力学性能。结 果表明：Ｎｉ元素对Ａｕ元素的阻挡效果明显，Ｃｒ／Ｇｅ的界面扩散剧烈。Ｃｒ／Ｎｉ／Ａｕ金属化结构的 膜基结合力为１４Ｎ，优于其他膜系结构，对于提高锗窗膜基结合强度效果最显著。 关键词：锗窗；金属化；热处理；俄歇电子能谱 ＋ 中图分类号：ＴＧ１５６２２　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１６．０４．０１４ Ｓｔｕｄｙｏｎｉｎｔｅｒｆａｃｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｍｅｔａｌ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｎＧｅｗｉｎｄｏｗｆｏｒＭＥＯＭＳｐａｃｋａｇｉｎｇ ＷＡＮＧＸｉｎｙｕ，ＳＨＩＭｅｎｇｒａｎ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｍｅｔａｌｆｉｌｍｓｏｎＧｅｗｉｎｄｏｗａｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｂｙＤＣｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｔｏｓａｔｉｓｆｙｔｈｅｖａｃｕｕｍｐａｃｋａｇｉｎｇｒｅ ｑｕｉｒｅｍｅｎｔｏｆＭＥＯＭＳｄｅｖｉｃｅｓＴｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｍｅｔａｌｆｉｌｍｓｏｎｉｎｔｅｒｆａｃｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｎＧｅｗｉｎｄｏｗｗａｓｓｔｕｄｉｅｄ ｕｎｄｅｒｔｈｅｓａｍｅｈｅａｔｔｒｅａｔｍｅｎｔｃｏｎｄｉｔｉｏｎＴｈｅｉｎｔｅｒｆａｃｅｄｉｆｆｕｓｉｏｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｂｅｔｗｅｅｎｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｈｉｎｆｉｌｍｓａｎｄｓｕｂ ｓｔｒａｔｅｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄｂｙＡｕｇｅｒｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙＦｉｎａｌｌｙ，ａｄｈｅｓｉｏｎｓｔｒｅｎｇｔｈｉｓａｎａｌｙｚｅｄｂｙｕｓｉｎｇｓｃｒａｔｃｈｉｎｇｔｅｓｔ ｅｒＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔＮｉｃａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｐｒｅｖｅｎｔＡｕ，ａｎｄｔｈｅｉｎｔｅｒｆａｃｅｂｅｔｗｅｅｎＧｅａｎｄＣｒｄｉｆｆｕｓｅｓｉｎｔｅｎｓｉｖｅｌｙＭｅｔａｌ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｃｏｍｐｏｓｅｄｏｆＣｒ／Ｎｉ／Ａｕｃａｎｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅａｄｈｅｓｉｏｎｓｔｒｅｎｇｔｈｏｆｉｎｆｒａｒｅｄｗｉｎｄｏｗｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｇｅｗｉｎｄｏｗ；ｍｅｔａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅ；ｈｅａｔｔｒｅａｔｍｅｎｔ；Ａｕｇｅｒｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ １　引　言 表面改性，使其易于钎焊；金属化结构与锗窗要有良 对于红外传感器件，由于波段的需要，往往利用 好的附着力；金属化结构要有良好的力学参数匹配 锗窗作为红外透过窗口。锗窗与封装管壳材料在气 和热学参数匹配，以减少膜层和基底结构中存在的 密性焊接前，要进行锗窗金属化，以提高可焊性和焊 应力。 接可靠性。在锗窗、金属膜层、焊料及可伐盖板之间 ２　试验方法 存在三个界面，当钎焊后成为一体时，三个界面都要