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MIM 与MIS 隧道结的结构特点及其发光效应 - 东南大学学报
第2 8 卷第4 期 东 南 大 学 学 报 Vol2 8 N o4
1998 年7 月 JO UR NAL OF SOU T HEA ST U N IV E RSI T Y July 1998
M IM M IS
王茂祥 孙承休 俞建华 刘柯林
( 东南大学电子工程系, 南京210096)
吴宗汉
( 东南大学 理系, 南京210096)
对M IM ( M eta-l I nsulator- M etal) 及M IS ( M eta-l I nsulator- Sem iconductor) 隧道结
的结构特点作了简单介绍, 着重分析了其发光效应及发光光谱特性, 并由此对隧道结的
发光机理进行了讨论
M IM 及M I S 隧道结; 结构; 光谱
O482 31
1976 L ambe McCart hy[ 1] M IM ( M et a-l In sulat or- Metal)
, Al-A l O - A u
2 3
, A l A l2 O3 Au
, SPP ( Surface Plasmon Polarit on) , SP P
, , , 100 ~ 200 nm
MgF2 , , , 197 8 , H an s-
ma[ 2] Au A l O Au ( 100 ~ 300 )
2 3
, 19 81 , K irtley[ 3] M IM 120~ 1 250 nm
, 1987 , J B Dsoole[ 4] , Znamensky[ 5] M IS
LB( Langmu ir Blodget t ) , , SAW ( Surface A-
[ 6]
coust ic Wave) M IM , SAW
, Dy[ 7]
[ 8]
, ,
[ 9]
A-l Al O -A-l Al O -A u ,
2 3 2 3
, Si A l, SiO2 A l2 O3 M IS S-i
[ 10]
SiO -A u M IM
2
: 1997- 09- 16, : 1998- 04- 26
30 东 南 大 学 学 报 第28 卷
1
MIM ,
2 1019/ cm3 HF
Si M IS
10- 3 P a M IM
MgF 2
, 1 000 A l , A l
4 8 h 30 ~ 50 A l2 O3 ,
M gF2 , ,
Al 500 A u 图1 普通单势垒M IM 结的结构图
, ( M gF2)
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