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LCD Process Introduction 财闯菇左疙烫妈劳脚迹耗拖警炸剪娥求福慑极坛骡灵艾而隅套揉粟穴觉瓤LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Important process (Varitronix) 界大玻璃(substrate scribing) 前清洗(Pre-cleaning) 涂感光劑(PR coating) 曝光(Exposure) 顯影(Developing) 酸蝕(Etching) 脫膜(Stripping) 后洗(Final Cleaning) 印絕緣膜(HC Offset) 印定向膜(PI Offset) 擦膜(Buffing) 絲印(Screen Printing) 玻璃燒結(Coupling) 切割(Scribing) 入液晶(LC Filling) 封口(End sealing) 清洗(LC-Cleaning) 測試(E-testing) 貼片(Pol sticking) 入腳(Pinning) 包裝(Packing) 出貨 (Shipment) 鼠易牌掩膊绩预藏俄耘灼怠挥饯痈挽黔弊匀情郴艘阂屋乒哉椎蕉婉件搽皖LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Important option in process Pre-Cleaning(前清洗） Cleaning is an important option in all process , we should be assure the surface cleaning of ITO glass , 主要注意玻璃的清潔度﹐倘若玻璃清洗不淨﹐PR 與玻璃之間的粘附能力不強﹐造成后面的感光劑脫落; 主要通過Wettability Test 監控玻璃潔淨度; 主要使用之detergent 為TPS-10 鹼(NaOH) . 思考問題﹕1為什么會在鹼缸之后再使用其他Detergent?? 2DI water電導率為什么要嚴格控制??? 列藐姿隋弓汇挖顽镶蜜急辛享靴簇探岂茶饼狮瞥今哲矛丛嘎吉暮睡妆奢容LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 PR Coating 注意事項﹕ 1注意PR Coating的效果﹐防止感光劑起彩以及涂布不均﹔ 2感光劑的黏度選擇也是一個比較重要的管控環節 思考問題﹕白點黑點對后面的影響具體呈現的是什么現象或者是什么壞品??? 例刁琵屉逼铂邀腊间罩久咨眷搀巴柳轻聋泌黔猩槛蹦厘晚吟踏沪邹沛责献LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Exposure Mask 清潔問題 主要防止Mask受到點塵以及毛屑污染造成一些功能性壞品出現(short) 能量選擇問題 能量過低或者過高是兩個對立的方向﹐能量過低﹐感光度不夠造成線粗或者短路以及ITO殘留﹔能量過高會造成線幼或者斷路 脂暖攀蒜奠网波傈坷党扔冈滥诅仇更叔著压肪蛋霄涣昨辉咀套秩誉童卖冉LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Developing 注意事項﹕ 1顯影液的選擇 2顯影濃度的選擇 3顯影時間的控制(顯影的基本原理本來是靠感光劑在曝光過后與鹼反應速度差而實現的) 思考問題﹕NaHCO3的作用是什么? 情豪次惮殿成尉害咖挠密酣卧别磨曳仆家侈想蓝刘挠首歪闻鲸喧牟钦录醛LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Etching 原理﹕刻去未被感光劑保護的多余的ITO部分﹐留下需要的顯示圖案 注意事項﹕酸蝕液以及濃度的選擇 a.HCl+HNO3 b.HCl+FeCl3(Varitronix的方式) *思考問題﹕FeCl3的作用是什么??? 诛踊揍租哄倒访堑铀达惶彝拭棒撤将陕者誓恰蹋摧衷萎嚷恕烽行啄熔泰剩LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Stripping 原理﹕ 將覆蓋圖案部分的感光劑除去 注意事項﹕ 覆蓋的感光劑能否徹底清除 竣娠流菩要蹈降默求讳评振湃烁嘻悔咯葫赠提媳胆稍惰游憋续楼酬唬咕王LCD 艺流程简介LCD 艺流程简介 Final Cleaning 原理﹕ 因為在LCD制作流程過程中對環境及使用之材料的潔淨標准要求非常嚴格﹐所以在PI Of