石英ガラス技術ガイド‐1.PDFVIP

石英ガラス技術ガイド‐1 石英ガラスの化学的、物理的特性 石英ガラスは、一般のガラスに比べ、非常に高い純度と物理的な安定性を持っており、半導体製 造装置の容器や管などの治具類に、また理化学用の器具などに広く利用されています。 「石英ガラス技術ガイド-1」では、石英ガラスが持つ、化学的、物理的な特性について紹介します。 石英ガラス技術ガイド‐1 石英ガラスの化学的、物理的特性 目 次 ページ 1. 化学的純度 2 2. 耐熱形状安定性 3 3. 結晶化 3 4. 機械的性質 4 5. 熱的性質 6 6. 粘度 7 7. 熱膨張 7 8. 熱衝撃耐力 9 9. 比熱 9 10. 熱伝導率 9 11. 気体透過性 10 12. 拡散係数 10 13. 電気的性質 11 14. 化学的安定性 12 15. 石英ガラスの洗浄 14 問い合わせ先、事業所、関連会社住所録 15