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2017-06-15 发布于浙江
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STICTION AND ANTI—STICTION IN MEMS AND NEMS

维普资讯 AcTAMECHANICASINICA(EnglishSeries)，Vo1．19，No．1，February2003 SSN 0567．7718 TheChineseSocietyofTheoreticalandAppliedMechanics ChineseJournalofMechanicsPress，Beijing，China AllertonPress。INC．．New 、 rk。U．S．A． STICTIoN AND ANTI．STICTIoN IN M EM S AND NEM S ZHAOYapu (赵亚溥) (LNM,InstituteoiMechanics，ChineseAcademyoiSciences，Beijing100080，China) ABSTRACT：StictioninmicroelectromechanicalsystemsfMEMS)hasbeenamajorfailuremode eversincetheadventofsurfacemicromachininginthe80softhelastcenturyduetolargesurface- area-to-volumeratio．Even now whensolutionstothisproblem areemerging，such as self-as sembled monolayer(sAM)andothermeasures，stictionremainsoneofthemostcatastrophicfailuremodesin MEMS．A review ispresentedinthispaperonstictionandanti．stictioninMEMSandnanoelectrome． chanicalsystems(NEMS)．First，somenewexperimentalobservationsofstictioninradio~equency (RF)MEMSswitchandmicromachinedaccelerometersarepresented．Second，somecriteriaforstic． tionofmicrostructuresinMEMSandNEMSduetosurfaceofrcesfsuchas capillary，electrostatic，van derWaals，Casimirforces，etc．)arereviewed．Theinfluenceofsurfaceroughnessandenvironmental conditions(relativehumidityandtemperature)onstictionarealsodiscussed．Ashydrophobicfilms， theself-assembledmonolayers(SAMs)turnoutabletopreventreleas-erelatedstictioneffectively．The anti-stictionofSAMsin MEMS isreviewed inthelastpart． KEYWORDS：MEMS，stiction，anti-stiction，workofadhesion，self-assembledmonolayer(SAM) 1 INTRoDUCTIoN through accelerationorelectrostaticforces．orinten． tionallyinapplicationswheresurfacesimpactors