X射线定向仪衍射角度自动测量与采集系统研制.pdfVIP

第21卷第3期 辽东学院学报 (自然科学版) Vo1．21No．3 2014年 9月 JournalofEasternLiaoningUniversity(NaturalScience) Sept．2014 【机械与电子工程】 X射线定向仪衍射角度自动测量与采集系统研制 孙世 君 (辽东学院机电学院，辽宁丹东 118003) 摘 要：在传统x射线晶体定向仪的基础上，设计 了一种可以通过 自动寻峰技术，实现晶体衍射角 度测量、采集、存储和导出的自动化测量系统。有效地解决了传统定向仪手动测量过程中的人为误差，并 极大地提高了在晶片筛选中的一致性。试验及用户使用报告证明，使用该系统的x射线定向仪，测量误 差可优于 ±10，远低于传统定向仪的±30”允许误差。可广泛应用于单晶的晶片筛选及硅单晶的切割定 向。 关键词：X射线；衍射 ；晶体 ；v／F变换；自动寻峰；PLC；触摸屏 中图分类号：TH744 文献标志码 ：A 文章编号：1673—4939 (2014)03～0185—04 x射线定向仪是一种利用 x射线衍射特征， 的间距为d，因此，可以把晶体的衍射分解成两个 来进行单晶内部的原子面与加工表面之间的夹角测 层次的衍射，即晶胞的散射和晶胞框架的衍射。按 量的专业化测量仪器。晶体定向的目的，是因为晶 照晶体衍射理论分析，从结论上讲，可以把晶体产 体具有各向异性的特征，即在不同的方位，具有不 生的衍射线看成是某种晶面的反射线。而满足干涉 同的光学、电学或其他性能 ¨j。因此在应用时， 方程时，必然有下述关系：2dsin0=nA。这个公 根据使用 目的的要求，选用最佳性能的方位。传统 式被称作布拉格公式，它定量地描述了产生衍射线 定向仪对晶体衍射角度的测量，多是操作者通过旋 的必要条件，即当一束波长为A的 射线以0角掠 转待测晶体的旋转平台，观测计数管放大电路的微 安表头，人工寻找衍射信号的峰值。由此，人为因 射到面间距为d的晶面上，并且当A、0和d满足 素的影响带来了测量结果的误差，并且测量的一致 上式关系时，就会在反射方向产生一束衍射线，否 性较差。x射线定向仪衍射角度 自动测量与采集系 则不会产生衍射线 l3j。 统的研制，实现了衍射峰值的自动化寻找，有效地 法线 解决了人为因素产生的测量误差，并且实现了批量 测量过程中衍射角度数据的保存、打印和导出到计 射线 ＼ ／／ 出射缨 算机等功能，具有广泛的应用前景。 e 日 l X射线定向仪的测量原理 1．1 X射线衍射的基本原理 ： 组成单晶晶体的基本单元为晶胞，整个晶体是 图1x射线在晶体中的衍射 由晶胞有规则的排列组成的。晶体的平面点阵可划 分成若干个平面点阵族，每一平面点阵族是一组相 1．2 X射线定向仪的组成及测量原理 互平行、间距相等的平面点阵，设两相邻点阵平面 x射线定向仪主要由x射线管高压发生装置、 收稿 日期 ：2014—04—21 作者简介：孙世君 (1964一)，男，辽宁东港人，副教授 ，研究方向：应用电子技术。