尘埃粒子在直流辉光放电阴极鞘层中的运动及悬浮！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ， ， ， % $### BCD*%AC*EF+,$### ／ ／ （ ）／ !###81$#$###%# !#%8#’ 9:;9=?@:9?@A@:9 !$###:G4+*GI*?C5* H $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ 尘埃粒子在直流辉光放电阴极鞘层 中的运动及悬浮! 刘德泳 王德真 刘金远 （大连理工大学物理系，三束材料改性国家重点实验室，大连 ） !!#$% （ 年 月 日收到） ! ’ $% 研究尘埃粒子在直流辉光放电阴极鞘层中的运动特性，并讨论了尘埃粒子携带的电荷、受到的各种力及悬浮 位置等 尘埃粒子在鞘层中的运动特性及悬浮位置主要由它的尺寸大小和它所受到的各种力（重力、电场力、离子 * 拖拽力、中性粒子拖拽力）决定 比较无碰撞鞘层和碰撞鞘层发现，尘埃粒子在碰撞鞘层中的悬浮位置更加靠近极 * 板；比较下鞘（阴极板放在下方时的鞘层）和上鞘（阴极板放在上方时的鞘层）发现，在下鞘中只有同一半径的尘埃 粒子悬浮在鞘层中的同一位置，而在上鞘中两种不同半径的尘埃粒子可以悬浮在鞘层中的同一位置 悬浮在鞘层 * 中的尘埃粒子只可能是携带负电荷的，并满足合力 及 ／ ，但满足上述条件的尘埃粒子能否悬浮 ! .# /! /# +,- +,- 在鞘层中，还取决于其初始位置和初始速度* ： ； ； !## )$%#0 )$$) )$(# 离子和中性气体原子的碰撞不可忽略，鞘层视为碰 引 言 撞鞘层 在鞘层边界 处（ 为鞘层的厚度），假 ! * .# # 设离子以速度 （ 为离子声速或玻姆速 $ . 2$ $ # 3 3 等离子体技术目前已成为大规模集成电路生产 度）从等离子体区域进入鞘层区域，坐标原点选在极 中的关键工艺，是其他技术难以顶替的 近几年来， 板处， 方向由电极指向鞘层 * % 人们发现在集成电路的等离子体加工中，存在大量 在鞘层中离子的连续性方程和运动方程为 的尘埃粒子，严重影响加工的质量和效率 尘埃等离