三氯氧磷的纯度和洁净度对集成电路的成品率及可靠性有着积极的影响.docVIP

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  • 2017-06-15 发布于浙江
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三氯氧磷的纯度和洁净度对集成电路的成品率及可靠性有着积极的影响.doc

三氯氧磷的纯度和洁净度对集成电路的成品率及可靠性有着积极的影响,而工业级的三氯氧磷纯度只有99%左右,因此,有必要将其提纯为电子级三氯氧磷以满足光伏、IC产业对原料的纯度要求。株洲市嘉众电子材料有限责任公司将市售的工业级三氯氧磷提纯至能够满足不同厂家需求的纯度为5N(99.999%)~7N(99.99999%)的电子级三氯氧磷,产品属于国家大力扶持鼓励的光伏电子行业材料,符合国家产业政策方向,具有长远的发展前景。 市售的工业级三氯氧磷纯度一般为99%,其主要成分及各成分沸点见表8。 表8 工业级三氯氧磷的主要成分及各成分沸点 成分 含量(%) 沸点(℃) 三氯氧磷 99 105.3 氯化铝 0.15 190 氯化钾 0.15 1450 氯化铜 0.1 993 氯化钠 0.2 1465 氯化钙 0.2 1600 三氯化磷 0.17 76 本项目运营期主要风险因素是三氯氧磷泄露。 (1)环境风险评价等级及范围 本项目三氯氧磷的最大贮存量为生产一个月所需的原料和成品,共计约1.8t,根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T 169-2004)根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T 169-2004)环境风险评价工作级别划分见表1表 环境风险评价工作级别 剧毒危险性 物质 一般毒性 危险物质 可燃、易燃 危险性物质 爆炸危险性 物质 重大危险

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