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倒圆角三角型两轴柔性支撑设计
第 卷第 期 压 电 与 声 光
３９ ３ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．３
年 月
２０１７ ６ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｊｕｎ．２０１７
文章编号： （ ）
１００４２４７４２０１７０３０３４１０５
倒圆角三角型两轴柔性支撑设计
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１２ ２ ２ ２ １２ １２
桑志昕 ，伞晓刚 ，高世杰 ，王 晶 ，王 涛 ，倪迎雪
（ 中国科学院大学 机械工程，北京 ； 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ）
１． １０００３９２． １３００３３
摘 要：为提高压电陶瓷驱动的快速反射镜的回转精度，对倒圆角三角型柔性支撑进行研究。首先利用卡氏
第二定理推导出倒圆角三角型柔性铰链柔度和回转精度理论计算公式；然后建立倒圆角三角型柔性铰链和两轴柔
性支撑的有限元模型，并进行仿真分析得出柔度和回转精度的仿真值。将仿真值与理论值进行比较，其结果表明，
最大误差在 ８％以内，验证了所推导公式的准确性。对比直圆型柔性支撑，在保证柔度的前提下，倒圆角三角型柔
性支撑的回转精度提高了４０％，具有重要的工程实用价值。
关键词：压电陶瓷；快速反射镜；倒圆角三角型柔性支撑；柔度；解析法；有限元分析
中图分类号： ； 文献标识码：
ＴＮ３８４ＴＨ１２２ Ａ
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１．ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍ ｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ Ｂｅｉｉｎ １０００３９ Ｃｈｉｎａ
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２．ＣｈａｎｃｈｕｎＩｎｓ
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