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广西轻工业 2009 年4 月 第4 期（总第125 期） GUANGXI JOURNAL OF LIGHT INDUSTRY 机械与电气 大气压下介质阻挡放电产生低温等离子体 1 2 2 2 贾建平 ，刘克富 ，胡琼 ，邱剑 （1 .武汉大学东湖分校工学院，湖北武汉 43021 2 ；2.华中科技大学电气与电子工程学院，湖北武汉 430074） 【摘 要】 利用电力电子和脉冲功率技术相结合研制了一台高频高压电源，用于介质阻挡放电产生低温等离子体。该电源利 用电容储能技术，通过控制IGBT 的通断对电容进行快速放电，形成高频脉冲，再通过高频变压器升压，实现高频高压输出。实验结 果表明，利用该电源所产生的介质阻挡放电，其放电均匀，实验装置所耗功率小，所产生的低温等离子体有着广阔的应用前景。 【关键词】 低温等离子体；高频高压电源；等离子发生器；介质阻挡放电 TM832 A 1003- 2673(2009)04－46 －02 【中图分类号】 【文献标识码】 【文章编号】 1 引言 污染;高频法的工作气压比直流法高，这对于安全使用等离子 给物质施加显著的高温或通过加速电子、加速离子等给物 体灭菌系统，提高系统的利用率是非常重要的。故此，我们这里 [6- 8] 质加上能量，中性的物质就会被离解成电子、离子和自由基。不 采用高频电源 ，其结构如下图1 所示。 断地从外部施加能量，物质被离解成阴、阳荷电粒子的状态称 [1] 为等离子体 。将物质的状态按从低能到高能的顺序排列为固 体、液体、气体、等离子体。等离子体是具有化学反应性的，表现 出与其他物质状态不同的特异性能的气体，也称为物质的第四 [1，2] 态 。 等离子的产生主要采用电场、光、高能射线或高温的作用 方法，通过加速电子、离子，或高能中性粒子的碰撞作用而产生 [3] 图1 高频高压电源 气体电离。气体电离产生等离子体主要有 ：弧光放电、电晕放 电、辉光放电、介质阻挡放电（DBD）和大气压下辉光放电 该高频电源系统由充电回路、脉冲形成回路、驱动回路及 [9，10] [1] 保护回路 几个部分组成。 （APGD）等几种 。其中，弧光放电产生的等离子温度很高；电 晕放电产生的低温等离子体主要分布在极不均匀电场中，而且 其工作原理为：工频220V 通过桥式整流给储能电容充 这种放电较弱，产生等离子体及活性粒子的效率太低；辉光放 电，由触发电路给出触发信号控制IGBT 通断将储能电容能量 电一般在低气压下进行，需要真空系统。基于这些因素，以上几 迅速释放形成脉冲，通过高频升压变压器升压形成高频高压输 种放电均不适合实际应用。因此，在实际应用中可以采用的是 出。该高频电源输出电压峰值 0~20kV 可调、重复频率 介质阻挡放电和大气压的辉光放电。 0~30kHz 可调，且正弦输出20kHz 时波形最好。电源电压通过 [4，5] 调节调压器输入电压来实现，频率则通过I