器件温度测试的影响因素.pdfVIP

环境试验— 器件温度测试的影响因素 李兴鸿，赵春荣，赵俊萍 (北京微 电子技术研究所，北京 100076) 摘要：本文从器件用热像仪的测温过程、常用公式出发，针对测温条件进行了探讨，对公式里面的指数n的取值进行 了推算。认为n可取4，但常数C和指数n的取值与波长范围和温度范围有关，要匹配。同时对 Ic温度分布的精确测 量条件也进行了总结。 关键词：红外热像仪；辐射温度；实际温度；n值 中图分类号：TN4 文献标识码：A 文章编号 ：1004—7204 (2014)04—0006—04 InfluenceFactorsofTemperatureM easurementonDevices LIXing—hong，ZHAOChun—rong，ZHA0Junping (BeiJingMicroelectroniCTechnologyInstitute，Beijing 100076) Abstract：According to temperature measurement process and basiC formula by USing thermograph， we discussed measureme31t condition， calculated index n， and was COnSidered n as 4． While that constant C and index n have a relationship with wavelength and temperature range． C and n should be matched． Finally，we summarized that testconditions about preciSion IC temperature distribution． KeyWOrds：thermograph：radiation temperature：fact temperature：n value E 引言 过惠斯通 电桥而变换为电信号。后续电路对这些原始电 器件的可靠性与器件的温度有密切的关系。在器件 信号进一步放大和处理后送至显示器上变成灰度值 ，形 M 盯 的试验 、使用和失效分析过程中，人们十分关心器件温 成该 目标温度分布的二维可视图像。每种灰度又用伪彩 度分布。 色代替在显示器显示。从而得到图像灰度和物体温度之 器件表面指定位置温度或温度分布一般用红外热像 间的对应关系，实现了测温。 仪进行测量。红外热像仪测温时 ，要对测量温度和实际 温度的关系进行标定，有时还要计算发射率。 2物体实际温度与红外热像仪辐射温度的关系 我们在用恒温台标定温度时，对如何测量真实温度 2．1热像仪常用公式 的细节进行了深入探讨 ，特别是指数n的取法，感觉很复 热像仪基本公式 (1)是根据黑体辐射基本概念和定 杂。本文是一些探讨结果。 律 、光能量度量方式 、灰度近似 、探测器光谱响应度… 这些知识，并取探测器接收到的能量为 目标 自身辐射、 1红外热像仪的测温过程 环境反射辐射和大气辐射能量的和而推导出来的。笔者 器件用红外热像仪 由样品台、探测器固定及调焦支 推导的结果与资料 [2]的结果一致，推导过程从略。 架 、红外