基于平面等倾干涉原理的平面度视觉测量系统.PDFVIP

重庆太学学报 (自瑞科学版) 弟24善第3期 竺 ! ! 型竺!尘 竺 ：竺 Mav 2001 文章编号：1000—582x(2001)03—0005—04 基于平面等倾干涉原理的平面度视觉测量系统’ 王 洪 ，王 石刚 ，薛 联 ，秦 岚 (1上海变通太学机械工程学院，上海 200030；2．重庆走学光电工程学院，重庆 400044) 摘 要：命铝一种基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原 理．通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉四环紊纹信． ，根据紊纹中心不变性和中· 对称性，以 开始别量点适当级次紊纹中心为参考奈纹，问隔90 建立4十扇形窗口，对窗口内奈纹信息处理，得到细 化后条纹与参考条纹径向问iE，参照前一测量点干涉务纹径向位置．得到干涉毋纹在各测点的变化量 N。该N值既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的刹点高度差信息，利用最小二乘原理， 处理N值，得到极高精度的平面度测量误差。 关键词：等倾干涉；景纹跟踪定位；机器视觉；最小=乘法 中圈分类号：TH 744 3 文献标识码：A 平面等倾干涉仪作为目前计量部门摄高精度平 1．1 系统的构成 面度测量仪器，广泛地用于高精度的平面度标准件测 测量系统由两大部分组成，如图1所示。 量l1】。由于该仪器完全通过人裸眼瞄准和读取模糊 的干涉条纹数据，同时通过手工或配以计算机进行复 杂的运算，得到被测量标准件的平面度误差，结果使得 测量效率和精度很难满足实际检测需要，成为计量部 门的一大难题。大量的研究文献介绍了用于不同场景 的干涉条纹图像测量【 】系统，但没挠从图像角度解 决小数波长计数问题。为解决高精度条纹计数．笔者 介绍一种新颖的基于平面等倾干涉原理的平面度测试 图 1 平面等倾干涉仪系统框图 系统：CCD摄像头用于提取随平面度变化的条纹图像 光学和机械部分由光学成像部分、被测件和标准 信息，依据条纹的中心对称原理，只处理部分选定窗口 件的机械夹具及机械传动部分、以及用于等温的恒温 中的条纹信息．根据条纹在窗口中的位置和相邻前前 箱和光源组成。 一 测量点条纹的位置，得到测量点相对于起测点的条 计算机图像采集、处理、控制部分，一是步进电机、 纹变化量，它反映了测量点和起测点的高度差。该系 驱动器以及控制接口板，用于机械传动控制；二是图像 统不仅能得到整数倍的条纹变化量信息，同时可得到 采集部分，它由图像采样卡和a：D摄像机和相应软件 反映微小倍数的条纹变化量。试验证明，由于系统解 组成，保证干涉条纹信息抓取；三是计算机及相关外围 决好了干涉条纹的细分计数等问题，因而具有非常高 设备软硬件，所有的控制、存储、处理等工作由它完成。 的测量速度和精度。 1，2 平匝等倾干涉基本原理 当入射光从一均匀介质以一定的入射角射向另一 1 系统构成及原理 均匀介质时，光在另一介质上下表面反射形成两束反 · 收蕊日期：2000—12—05 基金项目：国家863项目资助(863．51~9913—04) 作者筒什：王洪(1966一)，男，重庆市人．上海交通大学博士生。主