能量色散X射线荧光光谱仪现状和其发展趋势.pdfVIP

31 12 核电子学与探测技术 Vol． 31 No． 12 第 卷 第 期 2011 年 12 月 Nuclear Electronics ＆ Detection Technology Dec． 2011 X 能量色散 射线荧光光谱仪现状及其发展趋势 1 2 ， 杨明太 唐 慧 (1． ， 621900 ;2 ． ， 7 10061) 中国工程物理研究院 四川绵阳市 西安核仪器厂 西安 : X ， 、 摘要 能量色散 射线荧光光谱仪被广泛用于许多部门和领域 已成为理化检测 野外现场分析和 。 X ， 过程控制分析等的重要工具 文中介绍了现代能量色散 射线荧光光谱仪主要性能指标 综述了能量 X ， X ， 色散 射线荧光光谱仪的硬件和软件研制现状 简述了多种新型的能量色散型 射线荧光光谱仪 并 对其发展趋势与前景进行了展望。 : X ; ; ; 关键词 能量色散 射线荧光光谱仪 谱仪主要性能 分析技术 综述 中图分类号: O 657 ． 34 文献标识码: A 文章编号:0258-0934 (2011)12-1307-05 1895 ， (Roentgen W 。 年 德国物理学家伦琴 品主要性能指标基本接近国际先进水平 C) X ［1 － 2］。1896 ， EDXRF ， 发现了 射线 年 法国物理学家 分析技术发展至今 已成为一门较 (Georgs S) X 。1948 ， ， 、 、 乔治 发现了 射线荧光 年 为成熟的分析技术 被广泛用于冶金 地质 矿 (Friedman H． ) (Birks L S) 、 、 、 、 、 、 弗利德曼 和伯克斯 物 石油 化工 生物 医疗 刑侦 考古等诸多部 X 门和领域。EDXRF 光谱仪已成为对物质的化 首先研制了第一台商品性的波长色散 射线 ［3］ 、 、 、 (WDXRF) 。1965 ， X 学元素 物相 晶体结构进行试测 对人体进行 荧光 光谱仪 年 探测 射 Si (Li) ， X 医检和微电路的光刻检验等的重要分析工具， 线的 探测器问世了 随即被装配于 射