激光光束质量因子M^2的物理概念和测试方法.pdfVIP

重 一目 辅 维普资讯 第 1 应 用 激 光 Vo1．14，No．3 1994年 6月 APPLIED LASER | e 1994 ～ 【 激光光束质量因子 M2的物理概念与测试方法 曾秉斌 徐德 王润文 7 ’ ’ ’ — — — - — — — — — 一 ’ ～ (中国科学硫上海光机所 201800) 提要 激光光束传输质量因子 M。是一种全新的描述激光光束质量的参数，它能定量表征单模、多 模光束传播特性。本文介绍 M。的物理慨念、特点、测试方法及近年来国外的研究概况。 关键词 光束质量因子 M ，衍射极限倍数，束宽，束腰，嵌入高斯光束 PhysicalConceptand M easurem enton LaserBeam Guality FactorM 。 ZengBinbin，XuDeyanandW ang Runwen (Shah a1InstituteofOpticsa盈dFineMechaaies，AcademiaSinica，2olsoo) Abstract Inthispaper，weintroducethefactorM a8anew methodforcharacterizingand measuringthe beam quality ofalaseroutputbeam ．Thebenefitsofthismethodarethatthe parametercan bemeasuredtocharacterize realm ixed-modebeamsand itbecomesameasurable quantity describing beam propagation as wellas bema quality ． Thephysicalconceptand the 。 ts0fthefact0rM 2aremeI j0ned m easurem en ． Keywords thebeam qualityfactorM ted，beam width，beam waist， imbeddedGa岫 ＆ianbema 在激光技术及其应用领域，以及激光器的 布与单模高斯光束很相似，但发散度较大，可 设计和生产过程中，光束质量是极为重要的参 聚焦性也差；而另一些光束经调制后可获得与 数。光束质量的定义及测试是激光研究的重要 单模高斯光束接近的相位分布而光强分布相差 内容之一。近年来，一种表征激光光束质量的 甚远 l【l。 M 因子被国际光学界所公认，并由国际标准 光束质量是一项重要的性 指标 激光切 化组织 (ISO)予以推荐。M0因子克服了常用 割和焊接过程中，通过在线检测光束质量来控 的光束质量评价方法的局限，用 M 作为评价 制工件进给速率 高质量光束在很大程度上提