3.2电容式传感器.ppt

2.1、电容式传感器等效电路 由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫，容抗仍很大，而R很小可以忽略，因此 此时电容传感器的等效灵敏度为 当电源频率较高时，传感器的灵敏度由kg变为ke，ke与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，且随ω变化而变化。 改变电源频率、更换传感器到转换电路的引线长度，需重新定标。 2.2、电容式传感器测量电路 （1）调频电路 电容传感器接入LC振荡回路中，容值的变化转换为振荡器频率的变化。 2.2、电容式传感器测量电路 （1）调频电路 当被测信号为零时，DC=0，振荡器有一个固有振荡频率f0， 当被测信号不为零时，△c≠0，此时频率为 具有较高的灵敏度，可测至0.01μm级位移变化量； 易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强 2.2、电容式传感器测量电路 （2）运放电路 电容传感器接入运放电路中（作为反馈元件），容值的变化转换为运放电路增益的变化。 Cx是传感器电容 C是固定电容 2.2、电容式传感器测量电路 （2）运放电路 结论：从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性。 要求：放大器开环放大倍数A、输入阻抗Zi足够大。 电源电压和容值C稳定。 2.2、电容式传感器测量电路 （3）双T型电桥电路 方波交流电源，两个传感器电容（ C1 、C2 ），差动形式输出，容值的变化转换输出直流电压的变化