基于NEMS 技术的硅基纳机电探针阵列器件研究.PDFVIP

第 18 卷 　第 4 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 18 　N o . 4 2005 年 12 月 CHIN ES E J OU RNAL O F S EN SORS AND AC TUA TORS Dec . 2005 Nanomechanical EelectroThermal Probe Array Based on NEMS Technology 1 1 1 2 YA N G Z u nx i an , Y U Yi ng , L I N L ih ua , L I X i nx i n 1 D ep art ment of E lect ronics S cience an d A p p l ie d P hy s ics , F uz hou