稀土对金属纳米粒子-介质复合薄膜（Ag-BaO） 光电发射 ... - 物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # ## ， ， ， FGH .# EG . I,J ## （ ） ###(81#2##2# # 2#1%%(#’ )3@) ?ABCD3) CDED3) ## 3KLM . ?KJ4 . CGN . 稀土对金属纳米粒子 介质复合薄膜（ ） ! #!$% 光电发射性能的增强! ! 许北雪 吴锦雷 刘惟敏 杨 海 邵庆益 刘 盛 薛增泉 吴全德 （北京大学电子学系，北京 ##$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ### # # ### ’ 用真空蒸发沉积的方法制备了掺杂稀土的金属纳米粒子 介质复合薄膜（ 薄膜）与不掺杂稀土的 ( )*(+,- . )*( +,- 薄膜相比，其光电发射能力提高了近 透射电镜分析表明，掺杂稀土后， 薄膜中的 纳米粒子明 ’# / . )*(+,- )* 显细化、球化、密度增大 这表明 纳米粒子的细化，使得其在光作用下，光电子更容易通过隧道效应穿过界面位 . )* 垒逸出，导致光电发射能力增强. 关键词：光电发射，稀土，薄膜，纳米粒子 ： ’(( %10# 进行了探索，取得了很好的结果，并对其机理给出了 引 言 解释. 将金属纳米粒子埋藏于半导体中，在适当条件 ［］ 实验装置与方法 下会形成金属纳米粒子 介质的固溶胶体薄膜 2 . 这类薄膜体系具有很好的光电发射特性，并具有飞 我们实验用的)*(+,- 薄膜是在由机械泵、扩散 ［］ 泵、球阀和管泡组成的真空系统上制备的，如图 所 秒超快的光电响应速度 ，是检测超短激光脉冲有 效的材料 光电阴极就是一种金属 纳米 示. 该系统在极限真空= 8 # ; ?, . 我们的研究方 . )*(-(34 )* 粒子埋藏于 34 - 半导体基质中的固溶胶体薄膜， 法是用传统的)*(+,- 工艺制备)*(+,