第10讲电容式压力传感器.ppt

例7 容栅传感器 差动变面积型 误差平均效应 精度：10um 范围：0 ~ 150mm 　　容栅传感器是一种基于变面积工作原理，可测量大位移的电容式数字传感器。 参考文献： “高分子电容式湿度变送器温度补偿方法”， 《传感器技术》，2001年9期 2、“电容层析成像系统动态成像稳定性补偿方法”，《仪表技术与传感器》，2001年9期 3、“极板放在同一平面上的电容敏感器件的研制”，《传感器技术》，2001年5期 为什么电容传感器易受干扰，如何减小干扰？ 如何改善单极式变间隙型电容传感器的非线性？ 什么是“驱动电缆技术”，采用的目的是什么？ 思考题 （2）紧耦合电感电桥 耦合系数 电路谐振点： （3）变压器电桥 回路1 回路2 节点A 差动变间隙型电容传感器： 线性关系 （4）双T二极管交流电桥 2、运算放大器式电路 变间隙型电容传感器： 线性关系 “变气隙式电容传感器非线性补偿新方法”，《传感 器世界》，2001年9期 参考文献： 跳变 触发器翻转 跳变 触发器翻转 三、脉冲宽度调制电路 参考电压 变间隙型差动电容传感器： 变面积型差动电容传感器： 一、等效电路 C —— 传感器电容 L —— 电感 RP —— 并联损耗电阻 RS —— 串联损耗电阻 CP —— 寄生电容 高温、高湿、高激励 §3 电容式传感器的应用 保护环 减小极板厚度d 极板 间隙 保护环 1、边缘