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场发射扫描电镜进展及其物理基础廖乾初
17 ( 3) ∶3 11～ 318 1998 311
廖乾初
(冶金部钢铁研究总院, 北京 100081)
本文评述了场发射扫描电镜的进展及其 器技术的物理基础。 基于同扫描电镜成像过程有
关的物理概念出发,还推导了有关改进 器设计和功能所引用到的计算公式。
场发射扫描电镜 物理基础 圆锥阳极型发射电子枪 光阑角控制透镜 半浸没型物镜
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0. 6nm ( 30kV) 2. 5nm( 1kV ) ,
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