第二章 电阻式传感器技术总结.pptVIP

第二章 电阻式传感器 电阻式传感器的基本原理：将被测量的变化转换成传感元件电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。 它的类型很多，在几何量和机械量测量领域中应用广泛，常用来测量力、压力、位移、应变、扭矩、加速度等。 特点：电阻式传感器的结构简单、性能稳定、灵敏度较高有的还适合于动态测量。 电阻式传感器中的传感元件有应变片、半导体膜片、电位器和电触点副等。由它们分别制成了应变式传感器、压阻式传感器、电位器式传感器和电触点式传感器等。其中电触点式传感器目前已极少应用。 第一节 应变式传感器 应变式传感器是利用金属的电阻应变效应，将被测量转换为电量输出的一种传感器。 一、工作原理 (一)金属的电阻应变效应 当金属丝在外力作用下发生机械变形，其电阻值将发生变化，这种现象称为金属的电阻应变效应。 一根金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为 半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 当半导体应变片受轴向力作用时，其电阻相对变化为： (二)应变片的基本结构及测量原理 电阻丝应变片是用直径为0.025mm合金电阻丝制成的。为了获得高的阻值，将电阻丝排列成栅网状，称为敏感栅，并粘贴在绝缘的基片上。电阻丝的两端焊接引线。敏感栅上面粘贴有保护用的覆盖层。l称为应变片的基长，b称为基宽。lx b称为应变片的使用面积。应变片的规格一般以使用面积和电阻值表示。 用应变片测量受力应变时，将应变片粘贴于被测对象表面。在外力作用下，被测对象表面产生微小机械变形，应变片敏感栅也随之变形，其阻值发生相对变化。通过转换电路转换为相应的电压或电流变化，可以得到被测对象的应变值，根据应力应变关系： 应变片之所以应用得比较广泛，是由于它有如下优点： ①测量应变的灵敏度和精确度高，性能稳定、可靠，可测 ，误差小于1％。 ②应变片尺寸小、重量轻、结构简单、使用方便、响应速度快。测量时对被测件的工作状态和应力分布基本上无影响。既可用于静态测量，又可用于动态测量。 ③测量范围大。既可测量弹性变形，也可测量塑性变形。变形范围可从1％一20％。 ④适应性。可在高温、超低温、高压、水下、强磁场以及核辐射等恶劣环境下使用。 ⑤便于多点测量、远距离测量和遥测。 二、应变片的类型、材料及粘贴 (一)应变片的类型和材料 电阻应变片分金属丝式、金属箔式和金属薄膜式。 1．金属丝式应变片 金属丝式应变片有回线式和短接式两种。图2—3a所示为回线式应变片，制作简单、性能稳定、成本低、易粘贴，但其应变横向效应较大。敏感栅极丝直径一般为0.012----0.05mm，以0.025mm左右最常用。回线的曲率半径r为0.1----0.3mm。基片用以保持敏感栅及引线的几何形状和相对位置。为使被测件的应变迅速而准确地传递到敏感栅上，基片很薄，一般为0.02----0.04mm。用专门的薄纸制成的基片称为纸基，用粘结剂和有机树脂薄膜制成的称为胶基。引线常用直径为0.1----0.15mm的镀锡铜线。 图2—3b所示为短接式应变片，它的敏感栅平行排列，两端用直径比栅线直径大5—10倍镀银丝短接而成，共优点是克服了横向效应，但因制造工艺复杂，而使用较少。 2．金属箔式应变片 是利用照相制版或光刻技术将厚约0.002----0.01mm的金属箔片制成所需图形的敏感栅，亦称为应变花。 它有如下优点：①可制成多种复杂形状尺寸准确的敏感栅，其栅长可做到0.2mm，以适应不问的测量要求；②与被测件粘结面积大；③散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度；④横向效应小，可以忽略；⑥蠕变和机械滞后小，疲劳寿命长。其缺点是电阻值的分散性比金属丝的大，有的相差几十欧姆，故需作阻值调整。 3、金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是薄膜技术发展的产物。它是采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1um以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 它的优点是应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，可达-197—317度。目前使用中的主要问题是难于控制电阻与温度和时间的变化关系。 (二)应变片的粘贴 应变片是用粘结剂粘贴到被测件上的。粘结剂形成的胶层必须准确迅速地将被测件应变传进到敏感栅上。粘结剂的性能及粘结工艺的质量直接影响着应变片的工作特性。可见选择粘结剂和正确的粘贴工艺与应变片的测量精度有着极重要的关系。 选择粘结剂必须适合应变片材料和被测件材料，不仅些求粘接力强，粘贴结后机械性能可靠，而且粘合层要有足够大的剪切弹性模量，良好的电绝缘性，蠕变和滞后小,耐湿、耐油、耐老化、动应力测量时耐疲劳等。还要考感到应变片的工作条件，如温度、相对湿度、稳定性要求等. （四）、零漂和蠕变 粘贴在试件上的应变片，在温度保持恒定、不承受机械应变的情况下，电