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2017-06-18 发布于天津
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製程機台優惠使用(學術界自行操作8折)，訓練認證費5折，FIB機台當年度累計實收金額=10萬元80%，=20萬元60%，工安訓練認證：600元機台名稱學術界研究單位營利事業單位機台訓練訓練費 (元) 認證自行委託(校內) 委託(校外) 自行委託操作自行委託操作高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD)High Density Plasma Chemical Vapor Deposition 1,200 1800 2,160 2,000 2,400 2,250 2,700 3 / 0.5 1,500 600 感應耦合式電漿蝕刻系統(ICP-Etcher) Inductive Couple Plasma Etcher 1,200 1800 2,160 2,000 2,400 2,250 2,700 3 / 0.5 600 多靶磁控濺鍍系統(Sputter) Multi-Target Sputter 800 1200 1,350 1,250 1,500 1,500 1,800 2 / 0.5 1,000 500 雙電子束蒸鍍系統(E-Beam) Dual E-Beam Evaporator 800 1200 1,350 1,250 1,500 1,500 1,800 3 / 0.5 500 真空退火系統 Annealing system 800 1,300 1,350 1,200 1,500 1,600 2,000 3 / 1 750 超高真空退火系統 system 1,200 2,000 1,980 1,700 2,200 2,300 3,000 3 / 0.75 825 快速退火系統(RTA)Rapid Thermal Annealing System 400 0 855 1,000 1,000 1,000 1,000 2 / 0.5 500 500 光學微影系統(Mask Aligner) Mask Aligner and Exposure System 520 813 1,300 1,222 1,950 3 / 0.5 500 薄膜特性分析儀(N K) N K analyzer 15min 250/ 15min 300/ 15min 240/ 15min 300/ 15min 320/ 15min 400/ 15min 1.5 / 0.5 500 三維輪廓儀(Alpha-Step)3D Alpha-Step Profilometer 250/ 15min 300/ 15min 240/ 15min 300/ 15min 320/ 15min 400/ 15min 1 / 0.5 500 傅立葉轉換紅外光譜儀() Fourier-Transform Infrared Spectrometer(Mid-IR)? 300/ 30min 450/ 30min 600/ 30min 400/ 30min 600/ 30min 450/ 30min 800/ 30min 1.5 / 0.5 500 四點探針( 4 Point Probe )4 Point Probe 不受理不受理不受理不受理 1 / 0.25 500 聚焦離子束(FIB)Focused Ion Beam 不受理 5,000 不受理 7,000 36 / 4 7,000 3,000 *繳款方式及付款疑問請與行政助理小姐連絡，07-5252000分機370，E-mail：繳款方式：月結校內：1.現金 2.計畫轉帳校外：1.現金 2.電匯 3.開票研究單位及營利事業單位請當日繳交現金或即期支票繳款帳戶：戶名：國立中山大學校務基金401專戶帳號：011036032059 (台灣銀行高雄分行) 備註欄請註明「奈米核心設施分機3703」支票抬頭：國立中山大學(即期支票) 國科會高屏地區奈米核心設施共同實驗室 National Science Council Core Facilities Laboratory for Nano-Science and Nano-Technology in Kaohsiung-Pingtung area. 單價(元/hr) 優惠價104