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适用于关键应用场合的高级密封解决方案 Slit Valve Doors For Semiconductor Applications 精密高分子工程有限公司(PPE) 为半导体市场供应采用高性能弹 性体材料的真空阀门 真空阀门(SVD) 是许多半导体加工工具的基础部件。它们可以在侵蚀性工艺环境以及设备的更为良性 区域中形成屏障。PPE 提供一系列真空阀门设计，同时还提供一系列无与伦比的弹性体材料，这些材 料专为侵蚀性半导体密封应用场合而研制。 为满足超高纯度和抗等离子特性需求，公司研制出 Perlast® 和 Kimura® 系列弹性体材料，供半导体行业 使用。这些材料为真空阀门提供了最佳密封解决方案。 PPE 密封解决方案的优势 具有超高纯度 降低散式化风险 具有极低蚀刻率 耐高温 延长密封寿命，从而降低经营成本 制造能力 PPE 的净化室生产设施使用世界上最高级的制造设备，并 合运用最新技术，在密封行业内能够以最短的交货时间准时交付 产品。 为何选择PPE 真空阀门？ 超纯弹性密封 PPE 提供一系列材料和型材，可最大限度地增强粘接和非粘接真空阀门的密封整体性并延长其预期寿命。 PPE 真空阀门采用超纯全氟橡胶，不含填料 （例如，金属氧化物和二氧化硅）,不会在动态门应用中造成散式化问题或产生污染 物，从而最大限度提高晶圆产量并延长计划的维护周期。 Figure 1 shows a ross se tion of an elastomer with inorgani fillers, whilst figure 2 shows a Kimura® non-filled elastomer that signifi antly redu es the potential for parti ulation. Figure 1: Organi filled elastomer material (magnifi ation 10μm) Figure 2: Kimura® non-filled elastomer material (magnifi ation 10μm) 案例研究 质量与可追塑性 通过内部材料混合以及对批量制造进行全面控制，PPE 可以追溯全批产品的生产 情况，实现最高水平的质量控制。通过ISO 9001 版本C 以及严格的航空航天质量 标准认证，质量是我们一切工作的核心。 MONOVAT® 配备Perlast® G67P ， 技术支持 可将晶圆产量提高3 倍 PPE 的应用工程和材料科学团队随时可针