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第12 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.22 No. 12 2003 年12 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Dec . 2003 H I C 技 术 BST 铁电薄膜压控微波器件 陆清芳，李德红，何世明，刘兴钊，李言荣 （电子科技大学微电子与固体电子学院，四川 成都 610054） 摘要:作为一种典型的钙钛矿结构铁电体，BST 具有极强的非线性介电性质，其介电常数随外加直流偏压变化， 同时BST 薄膜易于与微带共面波导等电路集成，能有效减小电路体积，因此可广泛应用于压控变容器、滤波器、移相 器、振荡器等微波器件中。该类器件调谐速度极快，损耗低，工作频带宽，功率承载能力强，可调性好。介绍了BST 薄膜的非线性介电性质与其在微