Ku波段MEMS微波功率耦合器设计.pdfVIP

第17卷第6期 光学精密工程 V01．17No．6 and OpticsPrecision 2009年6月 Engineering Jun．2009 文章编号1004-924X(2009)06—1233—05 Ku波段MEMS微波功率耦合器设计 朱秋耀，廖小平 (东南大学MEMS教育部重点实验室，江苏南京210096) 摘要：针对现有的微波功率测量都基于热电偶和二极管等终端器件，功率信号在被检测后无法利用的问题，设计了一个 基于微机电(MEMS)射频(RF)并联开关在Ku波段(12．4～18GHz)应用的微波功率耦合器，包括等效电路、共面波导 功率信号。大部分功率信号被检测后都能传至下级电路做进一步处理。为了减小反射损耗和获得宽频带响应，提出了两 种优化方法．即凹槽凋谐结构设计和补偿电容设计。经过优化设计后的Ku波段MEMS微波功率