第五章 激光衍射测量原理.pptVIP

第五章 激光衍射测量原理 衍射最早用于光谱测量，70年代才形成一种非接触测量技术，1972年，加拿大国家研究所提出了激光衍射测试方法，其原理建立在单缝衍射基础上。 一、单缝衍射原理： 如图（5-1）所示： 图5-1 根据在巴比列定律：平行光分别通过单缝和有相同宽度的单丝后在P点的衍射条纹振幅之和（ ）等于平行光直接通过透镜后，在同一点P的振幅yP（此时yP=0） 其光强为 而在F′处： 结论：除 点外，在其余各点，单缝和的同尺寸细丝的衍射光强分布相同。因此在衍射计量中，可将单缝衍射公式用于单丝衍射的情况。 * * §5-1 测量原理 当L（缝长）W（缝宽）λ，且 时，满足远场夫朗和费（Fraunhofer）单缝衍射条件，其光强分布为： 对各级暗纹： 特点： （1）各暗纹间隔相等，亮纹间隔不相等。 （2）主极大角宽度为相临暗纹角间隔的二倍。 二、细丝衍射原理： 巴比列定律：“两互补屏所产生的衍射图形，其衍射花样和光强分布相同，但存在π的位相差”。 证明：考察在频谱面上的任一点P。 1、平等光通过缝宽为d的单缝衍射后，在衍射屏P点的振幅为 ；P0点（中心点）的振幅为 ； 2、若将单缝换成直径为d的细丝，则在衍射