微型平面式气体火花开关的设计和制作.pdfVIP

第 24卷第 5期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．24，NO．5 2012年 5月 HIGH POW ER LASER AND PARTICIE BEAM S M ay，2Ol2 文章编号 ： 1001—4322(2012 微型平面式气体火花开关的设计和制作 周镇威， 杨卓青， 丁桂甫， 陆闻静，沈 慧 (上海交通大学 微米 ／纳米加工技术重点实验室，上海 200240) 摘 要 ： 基于表面微加工技术 ，设计并制作了一种微型平面式气体火花开关，其尺寸仅为 1．5CIIl×0．5 cm，对制作 的微型火花开关进行 电路测试 ，得到其输出电流峰值约为 3450A，上升时间 164n8。结合实验结 果，对开关器件进行电路系统仿真并提取参数 ，得到系统电感为 26．5nH，电阻为 0．066Q，与传统机械结构的 立体式火花开关相 比，器件参数得到显著优化 。 关键词 ： 火花隙开关； 脉冲功率 ； 微型平面化 ； 微机电集成制造 中图分类 号 ： TN782 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP1256 开关技术是高功率脉冲技术 的核心，决定着脉冲功率的输出特性 ，在许多高功率脉冲应用系统 中拥有决定 性作用 ，因而备受重视 口 。对高功率脉冲开关的基本要求包括耐电压高 、导通 电流大、上升时间短、抖动小 、电 感及 电阻小、电极烧损小和重复触发频率高等等 。针对不同应用需求 ，目前 已成功开发 了基于不 同作用原 理的多种类型高功率脉冲开关 ，体积从 m。量级到cm。量级 ，技术参数涵盖范围广泛。其中利用气体放 电击穿 特性工作 的立半球形电极火花隙开关最具代表性 ，具有结构相对简单 、能够较准确触发、耐冲击性强、输出脉冲 电流大和触发时间短等优点，因而得到了深人研究和广泛应用l7]。 传统火花隙开关均采用半球式电极组装而成 ，无论整体大小如何 ，基本上都是基于精密机械技术设计和制 造的，器件对零部件尺寸精度和表面光洁度的要求颇高，装配精度控制需很准确，所以制造成本较高 ，微型化也 比较困难。也有研究者提 出平面化设计的想法 ，但 由于采用传统机械加_二『制作 ，体积仍未能得到改善，且成本 仍然较高口 “]。3维非硅微加工技术研究的进展提供了实现上述设计思想的崭新技术途径 ，对于小尺度微结 构 ，微机械加工技术在尺寸和定位精度控制方面具有明显技术优势 ，因此 ，非常值得开展基于微加工技术 的火 花隙开关微型化设计与制造技术研究。本文即以非硅表面微加丁技术为基础 ，提 出了一种微型化平面式气体 火花开关的设计 ，开发了相应的加工技术 ，研制了原型器件样品并进行了关键技术参数测试 。 1 结构设计 气体火花开关的结构有 白击穿型 (2个 电极)、三电 极触发型和四电极触发型等 ，其 中三 电极型又分为触 发管型和场畸变型 【。 2 本文采用三电极场畸变型设计 ，结构如图 1所示。 主电极形状设计为半圆形 ，相对放置 ；触发 电极为长方 形 ，位于主电极之间，整个器件放置于空气 中工作。触 发前 ，开关 K 断开 ，主电极间的电容 C 加上高压 ，电 容 C 加上低压 。当开关 K 闭合时，主电极之间的电 场强度没有变化 ，不发生击穿；触发 电极和主电极 1之 间的电场强度则大于空气 的击穿场强 ，间隙之间发生 Fig．1 Schematicofmicroplanargassparkswitch 击穿 ，气体 电离产生电火花 ，从而使得主电极 1和主电 图 l 微型平面气体火花开关设计示意罔 极 2之间全部击穿 ，接通回路放电，完成电流脉冲的输出。 为了在开关K 闭合时，触发 电极和主电极1之间能够发生电击穿，两电极间的间距需尽可能小 。主 电极 * 收稿 日期 ：201卜O520； 修订 日期 ：201卜1O一24 基金项 目：微米 ／纳米加工技 术重 点实验室基金项 目(9140C790302110C7906)