像素偏振片阵列制备及其在偏振图像增强中的应用.PDFVIP

物理 学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 18 (2014) 184204 像素偏振片阵列制备及其在偏振图像 增强中的应用 张志刚 董凤良# 张青川 褚卫国 仇康 程腾 高杰 伍小平 1)(中国科学技术大学近代力学系, 中国科学院材料力学行为与设计重点实验室, 合肥 230027) 2)(国家纳米科学中心纳米加工技术实验室, 北京 100190) ( 2014 年2 月26 日收到; 2014 年4 月10 日收到修改稿) 像素偏振片阵列在实时测量光的斯托克斯参量方面具有重要的应用. 本文设计和制作了基于金属铝纳米 光栅的像素偏振片阵列, 制作工艺基于电子束曝光技术. 偏振片阵列单元尺寸为7.4 m, 每相邻 单元 的透偏振方向分别为0, , 和. 光栅周期为140 nm, 占空比为0.5, 深度100 nm, 光栅面型为矩形. 像素偏振片阵列的扫描电子显微镜照片显示, 制备的偏振片阵列的金属纳米光栅栅线无断线、无交叉、无杂物 污染, 光栅栅线结构平直, 厚度均匀, 满足理想矩形面型. 采用偏振光作为照明光的光学显微镜拍摄图片显示, 像素偏振片阵列整体形状规则, 具有很好的偏振特性, 最大偏振透射率可达到79.3%, 消光比可达到454. 将 像素偏振片阵列与CCD (charge coupled device) 集成在一起, 采集单帧图像即可计算图像的斯托克斯参量, 从而得到拍摄物体线偏振度图像和线偏振角图像, 实现了偏振增强, 可应用于目标反隐和识别. 关键词: 偏振片阵列, 金属纳米光栅, 偏振透射率, 消光比 PACS: 42.25.Ja, 42.87.Bg, 81.16.Nd DOI: 10.7498/aps.63.184204 4 他墨鱼探测到, 实现种内识别和沟通 . 1 引 言 受到沙蚁、墨鱼等生物的启发, 科研工作者开 展了大量的仿生研究, 如多方向金属光栅偏振器的 自然界中, 一些生物具有感受光的偏振信息的 偏振导航设备、基于金属光栅的像素偏振片阵列设 1 能力, 如沙蚁、蜜蜂、墨鱼等 , 这是人类所不具备 备. 大连理工大学的褚金奎课题组制作了多个不同 的. 这些生物能够感受和探测到光的偏振特性和隐 方向的金属光栅偏振器, 并将该偏振器应用于偏振 藏在其中独特的信息, 并用于导航和图像增强等方 导航传感器上, 在晴朗天气下获得了很好的导航作 面. 研究发现, 沙蚁等生物复眼内部具有对天空偏 56 振光敏感的独特结构, 能够感知偏振光在天空中强 用 . 另外, 将像素偏振片阵列集成在图像传感 度和方向的分布模式, 并利用其来实现导航定位的 器之前(偏振片阵列的单元尺寸与图像传感器像素 目的. 这种导航方式不受电磁干扰, 误差不随时间 尺寸一致, 每相邻 个单元的透偏振方向分别