2.2压力感测器.PDF

第二章 基本理論 2.1 基本壓電理論 西元 1880 年 Piere 及 Jacques 兄弟首先發現水晶的壓電現象，並且提出焦 電與結晶對稱關係，證明壓電的發現並非偶然，且可預估與施加壓力方向關係 及何種結晶族才有壓電特性。而壓電性(piezoelectricity) 的命名得自 Hankel (piezo 在希臘語為 press 之意) ，此為電氣與力學的結合作用，亦即是機電能量 互換的現象[2] 。從壓電現象的發現，發展至今，已歸納出自然界許多物質具有 相當良好的壓電性質，但由於材料本身性質的限制，不能被廣泛地應用。因此， 人工合成方法產生的壓電材料，便因應而生。壓電材料的種類有許多 （表2.1 ）， 各材料都有其優缺點，例如電氣石，羅德鹽遇水會分解；高分子聚合物(PVDF) 壓電參數小，需很高的極化電場；而陶瓷類的壓電材料由於其壓電活性良好， 耐酸鹼，溫度係數大，耦合因數高，可製成任何形狀，所以，壓電陶瓷的發展 與應用日益廣泛，精密陶瓷(fine ceramics)的應用便是其中重要的一支。由表2.2 便可知壓電元件應用範圍極廣，而我們所做的壓力感測器便是機～電轉換型的 應用。 表 2.1 壓電材料種類 種 類 典 型 材 料 單晶類 石英、電氣石、羅德鹽、鉭酸鹽、鈮酸鹽 薄膜類 氧化鋯（ZnO ） 聚合物 PVDF 陶瓷類 鈦酸鋇（BaTiO ）、鈦酸鉛鋯（PZT ） 3 複合材料 PVDF～PZT 5 表 2.2 壓電元件應用 [3] 分 類 應 用 例 諧振型 濾 波 器 、 延 遲 線 、 變 壓 器 、 超 音 非諧振型 波產生器、點火器、壓力變換器 機～電轉換型 點火器、加速器、壓力轉換器 電～機轉換型 超音波產生器、致動器 電～機～電轉換型 濾波器、延遲線 電～機，機～電轉換共用型 聲納系統 高強度聲及超聲波源 聲 納 投 射 器 、 超 音 波 加 工 機 、 霧 化器、超音波洗淨器 低強度音源 空 氣 轉 換 器 、 非 破 壞 測 試 儀 器 、 醫療器材 高 壓脈衝產生器 點火器 感測器 微 音 器 、 水 下 聽 音 器 、 拾 音 器 、 加速器 非轉換器元件 濾波器、壓電變壓器 定位元件 致動器、超音波馬達 壓電效應可分為兩種效應 ，正壓電效應(direct piezoelectric effect) 及逆壓電 效應(converse piezoelectric effect) 。當機械應力加入壓電材料時，材料的兩端會 隨伴產生與應力大小成比例