AES深度剖析概述.PDFVIP

�� Tutorial of AES depth profiling AES深度剖析概述 简介 俄歇电子能谱（Auger electron spectroscopy ，简称AES ）除了可获得样品表面的成分外，还可以透过深 度剖析得到元素在垂直表面方向往下的分布信息，能够提供不同微区中化学组成在深度分布中的对比变化 。作为俄歇电子能谱一个最重要的分析功能，深度剖析使得俄歇电子能谱成为薄膜材料、半导体器件及各 种工程实际问题研究不可缺少的分析工具之一。 基本 原理 样品深度剖析是一种破坏性深度剖析 ，一般采用 氩离子溅枪对样品表面进行间歇性溅射剥离，得 Ar+ 到不同深度的裸露分析表面，在溅射暂停时收取 E beam 新鲜表面上元素的俄歇电子，通过能量分析器分 析溅射后样品表