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成大研發快訊 - 文摘 成大研發快訊 第三卷 第四期 - 2008年二月十五日 [ .tw/re/articles/c2.html ] 氣壓伺服閥控隔振支座之設計建模與強健控制 1 2* 陳秉昌 施明璋 博士班研究生1 2 教授 機械工程學系 Email: mcshih@.tw Paper published in Journal of vibration and control, Vol.13 No. 11, pp. 1553-1571(2007) 由於微米製程、精密量測與高精度加工的快速發展，振動干擾的問題成 為不可忽略的問題，因其幅度常接近這些技術的操作尺度。大部份的先進儀 器或高精度機械設備如原子力顯微鏡、雷射干涉儀及半導體曝光設備，皆對 振動極為敏感，且必須操作在平穩的環境下。這些振動干擾的成因可能來自 人員的走動、運轉中的機械設備、戶外車輛的移動以及地震等，並且表現在 某些特定的頻率範圍。被動式氣壓隔振支座因其構造簡單、成本低廉，故廣 泛使用於各種場合。然而，對於此類的隔振支座，於共振時反而會放大振動干擾，其頻率通常小於3Hz。 因此，多種應用壓電致動器或磁變致動器的主動式隔振方法，已應用在改善隔振性能方面。但由於這兩種 致動器的有效行程過小，一般只有數十微米，也限制了低頻時的隔振性能。近來主動式氣壓隔振支座即應 用伺服氣壓控制技術。氣壓驅動的方法，有別於壓電與磁變致動器，可提供較大的行程與較低的電磁干 擾。 圖一 氣壓伺服控制隔振支座結構示意圖 本研究設計組裝一氣壓伺服閥控隔振支座，並安裝固定於振動測試台上，用以測試支座的隔振性能。圖一 為所設計之氣壓伺服控制隔振支座之結構示意圖。此隔振支座內部具有上下兩個氣室。藉由壓縮空氣由下 氣室注入加壓，兩氣室達到正確的設定壓力時，活塞即可支撐起承載重量。氣壓伺服閥裝置於上氣室的進 1 of 6 成大研發快訊 - 文摘 氣口，利用電壓訊號的改變，伺服閥可控制流進或流出上氣室的空氣流量。為了實驗之便利，兩氣室間的 外側則裝置有一可調式的節流閥，取代上下氣室間之孔口。 圖二 實驗平台之示意圖 2 of 6 成大研發快訊 - 文摘 圖三 實驗平台之照片 圖二為本研究所架設之實驗平台示意圖。模擬的樓板振動是由一組伺服閥控液壓缸所產生的。上氣室進 口、氣壓伺服閥及開關閥則是依序串接在一起。振動的大小則是以加速規量測訊號，經由積分變為速度訊 號，再由介面卡傳到電腦記錄。圖三為實驗設備之照片。 3 of 6 成大研發快訊 - 文摘 此系統經由一些基本假設簡化問題後，即可得到線性化之數學方程式；再利用實驗鑑定的方法求得橡膠隔 膜的彈簧常數、阻尼係數以及氣壓伺服閥的流量增益。圖四為氣壓伺服閥控隔振支座之開路系統方塊圖。 圖四 氣壓伺服閥控隔振支座之開路系統方塊圖 研究中使用控制的方法，主要目的在減小振動干擾，特別是在低頻的範圍。H∞強健控制器恰可符合系統 使用之條件。H∞控制理論是利用權函數規劃於常態系統中，外部干擾與系統不確定性的範圍。圖五為簡 化後的常態系統、控制器以及權函數。方塊圖中的權函數具有特定的功用，權函數 W (s) 表示所需的性能 p 要求，W (s) 則限制控制器輸出命令的大小，以避免飽和的現象。 r 圖五 具權函數之強健控制隔振系統方塊圖 4 of 6 成大研發快訊 - 文摘 圖六 擴增系統方塊圖 欲求得控制器K(s)，圖五中的系統利用線性分式轉換(Linear Fractional Transformations)以求得擴增